TaCコーティング治具

Semicorex TaC コーティング ジグは、半導体製造プロセス内で極めて重要なコンポーネントとして機能し、グラファイトから細心の注意を払って作られ、炭化タンタル コーティングの弾性層で強化されています。この重要な機器要素は、最先端の材料科学と精密工学の融合を体現しており、半導体製造で普及している厳しい運用要求と厳格な基準を維持するように設計されています。

TaC コーティング ジグは、主に性能向上と寿命に重点を置いて設計されており、潜在的な運用上の課題を軽減しながら半導体処理効率を最適化するために調整された一連の優れた機能を備えています。グラファイト基板を封入する炭化タンタルコーティングは、ジグに比類のない耐熱性を与え、半導体プロセス中に遭遇する最も極端な温度環境下でも安定した性能を保証します。

TaC コーティング ジグの顕著な特性の 1 つは、グラファイト粒子の分離と分散を阻止し、グラファイト ベース内のガス放出現象と不純物の形成を最小限に抑えることに優れています。この重要な機能は、運用の完全性を強化するだけでなく、半導体材料とプロセスの完全性を保護し、それによって半導体出力の信頼性と一貫性を強化します。