TaC コーティングされたウェーハサセプタ

Semicorex TaC コーティング ウェーハ サセプタは、半導体エピタキシャル (エピ) プロセス用の有機金属化学蒸着 (MOCVD) 炉で使用される重要なコンポーネントです。この特殊な円形サセプターは高品質のグラファイト素材から作られており、独自の炭化タンタル (TaC) コーティングが施されています。

TaC コーティングの主な目的は、半導体製造プロセスの厳しい条件下での TaC コーティングされたウェーハサセプタの性能と耐久性を向上させることです。炭化タンタルは、その並外れた硬度、高い融点、耐摩耗性と耐腐食性で知られています。これらの特性により、TaC コーティングされたウェーハ サセプタは、MOCVD 炉内で発生する化学反応や物理的ストレスから下層のグラファイト サセプタを保護するのに理想的な選択肢となります。

TaC コーティングされたウェハ サセプタは、ウェハ上への薄膜の堆積を容易にすることで、半導体材料のエピタキシャル成長において重要な役割を果たします。高温や過酷な化学環境に耐えるその能力は、正確で信頼性の高い半導体デバイスの製造を実現するために非常に重要です。

TaC コーティングされたウェハ サセプタは、グラファイト コアとタンタル カーバイド コーティングを備えており、一貫した均一な熱分布を保証し、MOCVD プロセス中に成長する半導体層の再現性と品質に貢献します。この高度な材料の組み合わせにより、半導体製造のための信頼性と耐久性のあるソリューションとなり、現代の電子デバイス製造の厳しい要件を満たします。