TaCコーティングされた種結晶ホルダー

TaC コーティングされた種結晶ホルダーは、半導体材料の成長環境向けに特別に設計された高性能コンポーネントです。 TTaC コーティングされた種結晶ホルダーの大手メーカーとして、セミコレックスはハイエンド半導体製造分野で効率的なコアコンポーネントソリューションを提供します。

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製品説明

の基板TaCコーティング種結晶ホルダーは通常、グラファイト、炭化ケイ素、または炭素/炭素複合材料で作られ、高度な超高温化学蒸着 (CVD) 技術によってその表面に TaC コーティングの層が適用されます。この方法で製造された TaC コーティングされた種結晶ホルダーは、優れた耐食性、超機械的強度、優れた高温耐性、効率的な熱伝導率を備えています。

TaCコーティング種結晶ホルダーの機能

1.サポート機能

Semicorex の TaC コーティングされた種結晶ホルダーは種結晶の安定した支持プラットフォームを提供し、高温や高真空などの困難な条件下でも種結晶が固定位置を維持することを保証します。これにより、振動や空気の流れによる結晶のずれや損傷などの問題が効果的に防止され、結晶成長の継続性と安定性が確保されます。

2. 保護効果

TaC コーティングされた種結晶ホルダーは黒鉛るつぼの蓋の上に設置され、黒鉛の蓋を高温の Si 蒸気から隔離します。これにより、蒸気による腐食を効果的に回避し、グラファイト蓋の寿命を延ばします。さらに、TaC コーティング固有の化学的安定性と耐熱温度も不純物の導入を軽減するのに役立ち、種結晶の成長に安定したクリーンな環境を提供します。

3. 温度管理

Semicorex TaC コーティングされた種結晶ホルダーは、業界の最先端の製造技術を使用しています。熱場の正確な温度制御は、その形状、寸法、およびコーティングの厚さを専門的に最適化することによって達成できます。これにより、欠陥率が大幅に低下し、均一な結晶成長が効率的に促進されます。