炭化ケイ素プロセスチューブ

Semicorex 炭化ケイ素プロセス チューブは、半導体製造の分野で重要なコンポーネントであり、特に RTP、拡散などのさまざまな半導体処理用途で使用される縦型炉で使用するために設計されています。この特殊なチューブは、重要な製造プロセスを通過する際の半導体ウェーハの制御された正確な熱処理を容易にする上で極めて重要な役割を果たします。

高純度の炭化ケイ素で作られたこの炭化ケイ素プロセス チューブは、優れた熱伝導性、極端な温度に対する耐性、および優れた機械的強度を示します。そのユニークな材料特性により、半導体プロセスで一般的に遭遇する高温や過酷な化学環境を要求する用途に理想的な選択肢となります。

縦型炉内では、炭化ケイ素プロセス チューブが、RTP などのプロセスを受ける半導体ウェーハに保護および制御された雰囲気を提供します。 RTP には、ドーパントの活性化、アニーリング、および半導体デバイス製造に重要なその他の熱処理に不可欠な急速加熱および冷却サイクルが含まれます。炭化ケイ素プロセス チューブの堅牢な性質により、このような厳しい熱的および化学的環境において長寿命と信頼性が保証され、半導体製造プロセスの全体的な効率と精度に貢献します。