炭化ケイ素コーティングされたグラファイトバレル

半導体製造に関して言えば、Semicorex 炭化ケイ素コーティングされたグラファイト バレルは、優れたパフォーマンスと信頼性を備えた最高の選択肢です。高品質の SiC コーティングと優れた密度と熱伝導率により、最も困難な高温および腐食環境でも優れた熱分布と保護を実現します。

当社の炭化ケイ素コーティングされたグラファイトバレルは均一な熱プロファイルを保証し、最良の層流ガスフローパターンを保証します。汚染や不純物のウェーハへの拡散を防ぐため、クリーンルーム環境での使用に最適です。 Semicorex は中国における SiC コーティングされたグラファイトサセプタの大規模な製造業者および供給業者であり、当社の製品は価格面で優れています。私たちは、半導体業界における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

炭化ケイ素コーティングされたグラファイトバレルのパラメータ

炭化ケイ素コーティンググラファイトバレルの特長

- グラファイト基板と炭化ケイ素層は両方とも良好な密度を備えており、高温および腐食性の作業環境において優れた保護役割を果たします。

- 単結晶成長に使用される炭化ケイ素コーティングされたサセプタは、非常に高い表面平坦性を持っています。

- グラファイト基板と炭化ケイ素層の熱膨張係数の差を低減し、接着強度を効果的に向上させ、亀裂や層間剥離を防ぎます。

・グラファイト基材と炭化ケイ素層はいずれも熱伝導率が高く、熱分布特性に優れています。

- 高融点、高温酸化耐性、耐食性。