炭化ケイ素セラミックウェーハボート

プレミアム素材の選択

Semicorex 炭化ケイ素セラミックの優れた特性ウエハーボートそれは高品質の原材料に起因します。半導体グレードの SiSiC 材料で作られ、CVD SiC コーティングで覆われた炭化ケイ素セラミック ウェーハ ボートは、次の優れた特性を示します。

1.超高純度で金属不純物の放出がありません

基板不純物：＜100ppm

CVD SiC コーティングの不純物: <1 ppm

2.優れた熱安定性

炭化ケイ素セラミックウェーハボートは、1250℃の高温条件でも安定した性能を発揮し、最小限の変形と耐クリープ性を実現します。

3.高い機械的強度

炭化ケイ素高い硬度と耐摩耗性を備えているため、Semicorex 炭化ケイ素セラミック ウェーハ ボートは傷、摩耗、損傷に耐えることができ、長期間の動作でも優れた性能を発揮し、損傷に強いです。

4.優れた耐食性

炭化ケイ素は強酸や強アルカリによる腐食に強いため、Semicorex 炭化ケイ素セラミック ウェーハ ボートは、腐食性の高い作業条件下でも構造の完全性と機能的性能を維持できます。

最適化された構造設計

Semicorex 炭化ケイ素セラミック ウェーハ ボートはバッチ ウェーハ処理用に設計されており、その最適化された構造フレームワークにより、安定したバッチ ウェーハのサポートと各ウェーハの一貫したプロセスの安定性が保証されます。

1.3ポスト垂直支持構造

Semicorex 炭化ケイ素セラミック ウェーハ ボートの垂直構造により、垂直炉の用途にシームレスに適合できます。この構造により、emicorex 炭化ケイ素セラミック ウェーハ ボートは、高温炉内のプロセス ガスの均一な循環と熱エネルギーの均一な分布を促進できます。

2.均一に分布したスロットピンチ

Semicorex 炭化ケイ素セラミック ウェーハ ボートには、サポート ポストに複数の精密機械加工されたスロット ピンチが装備されています。等間隔に配置されたスロットピンチにより適切なスロット間隔が得られ、炭化ケイ素セラミックウェーハボートが半導体ウェーハをしっかりと固定できるようになり、ウェーハの熱処理結果の一貫性の向上に貢献します。

セミコレックスの炭化ケイ素セラミックウェーハボートは、数多くの優れた性能と機能を備え、酸化、拡散、イオン注入、高温アニールなどの半導体ウェーハ製造の基幹プロセスで広く使用されています。