炭化ケイ素セラミックウェーハボート

Semicorex は、垂直 / コラムおよび水平構成の両方に対応するウェーハボート、ペデスタル、およびカスタムウェーハキャリアを提供します。当社は長年にわたり炭化ケイ素コーティング膜の製造・供給を行っております。当社の炭化ケイ素セラミックウェーハボートは価格面での利点があり、ヨーロッパおよびアメリカ市場のほとんどをカバーしています。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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製品説明

Semicorex 炭化ケイ素セラミックウェーハボートは、半導体製造におけるウェーハの取り扱いと保護のための究極のソリューションです。
当社の炭化ケイ素セラミックウェーハボートは、CVD法を使用して炭化ケイ素（SiC）の層でコーティングされた高品質の材料で作られており、優れた耐食性と優れた耐高温性および熱衝撃性を備えています。高度なセラミックは、大容量ウェーハキャリアの粒子や汚染物質を軽減しながら、優れた耐熱性とプラズマ耐久性を実現します。

炭化ケイ素セラミックウェーハボートのパラメータ

技術的特性
索引	ユニット	価値
材質名		反応焼結炭化ケイ素	無加圧焼結炭化ケイ素	再結晶炭化ケイ素
構成		RBSiC	SSiC	R-SiC
かさ密度	g/cm3	3	3.15±0.03	2.60-2.70
曲げ強度	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80～90（20℃） 90～100(1400℃)
圧縮強度	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
硬度	ボタン	2700	2800	/
粘り強さを打ち破る	MPa・m1/2	4.5	4	/
熱伝導率	W/m.k	95	120	23
熱膨張係数	10^-6.1/℃	5	4	4.7
比熱	ジュール/g 0k	0.8	0.67	/
空気中の最高温度	℃	1200	1500	1600
弾性率	GPA	360	410	240