炭化ケイ素セラミックパドルは通常、炉の開口部またはプロセス チャンバの近くに設置され、一端が固定され、もう一端が炉またはプロセス チャンバ内に伸びます。処理動作中、炭化ケイ素セラミックパドルは、ウェーハを運ぶウェーハキャリアを炉またはプロセスチャンバ内の指定された位置に正確に配置します。処理後、片持ち梁式パドルがキャリアを回収し、炉またはチャンバーの外に移動させ、次の処理段階のためにロボット アームに渡します。

Semicorex 炭化ケイ素セラミックパドルの利点

1. 優れた特性と安心の品質

Semicorex 炭化ケイ素セラミック パドルは、優れた高温安定性、高強度、高硬度、化学的安定性、および低い熱膨張係数を実現します。これらの優れた特性により、Semicorex 炭化ケイ素セラミック パドルは、高温、激しい腐食、重荷重、頻繁な機械操作などの困難な動作条件に長期間耐えることができます。

2. 正確な支持と搬送

優れた支持性能と搬送性能を誇るセミコレックス炭化ケイ素セラミックパドルウェーハキャリアを所定の位置に正確に固定して、炉心管に対するウェーハの同心性を確保できるため、プロセス中のウェーハの揺れや位置ずれによって引き起こされるプロセスの不一致が大幅に減少します。

3. 高効率な自動運転

Semicorex 炭化ケイ素セラミック パドルは通常、ロボットによる自動ロードおよびハンドリング システムと連携して動作し、ウェーハの迅速なロードおよびアンロードを実現します。これにより、半導体および太陽光発電の製造におけるプロセスサイクルが大幅に短縮され、生産効率が向上し、手作業のコストとエラーのリスクが軽減されます。

Semicorex 炭化ケイ素セラミックパドルの用途

1. 太陽電池の製造

Semicorex 炭化ケイ素セラミック パドルは、TOPCon セルや PERC セルの拡散、LPCVD、PECVD などの太陽電池セルの熱プロセスに適しています。プロセスの均一性と安定性を実現することで、太陽電池の変換効率の向上に貢献します。

2. 半導体チップの製造

Semicorex の炭化ケイ素セラミックパドルは、半導体チップ製造時のリソグラフィー、エッチング、蒸着などのプロセスに不可欠な支持および搬送コンポーネントとして広く使用されており、常に安定したウェーハの搬送と正確な位置決めを可能にします。