炭化ケイ素セラミックカンチレバーパドル

セミコレックス炭化ケイ素セラミックカンチレバーパドルワンステップで 3D プリントされた素地を高温焼結し、続いて化学蒸着によるコーティング処理によって製造されます。実際の動作中、炭化ケイ素セラミックのカンチレバーパドルは機械式自動化システムによって作動し、ウェーハを搭載した部品を高温処理装置 (酸化炉、拡散炉、CVD 炉など) にスムーズかつ安定して搬送します。これらの炭化ケイ素コンポーネントは、ウェーハと炉管間の同心精度を効果的に確保できるため、拡散、酸化、化学蒸着などの重要なプロセス中のプロセスの均一性と安定性が保証されます。

Semicorex 炭化ケイ素セラミック カンチレバー パドルの性能

1. 低汚染性能:

セミコレックス炭化ケイ素高精度処理を施したセラミック製カンチレバーパドルは、無塵・無塵の基準を達成しています。それらのマトリックスの不純物含有量は 300PPM 以下に厳密に管理されており、CVD 炭化ケイ素コーティングの不純物含有量は 5PPM よりもさらに低いです。

2. 高温安定性:

炭化ケイ素の優れた耐高温性と耐熱衝撃性により、Semicorex 炭化ケイ素セラミック カンチレバー パドルは、高温による変形、軟化、損傷を受けることなく、最大 1250°C の高温でも構造安定性を長期間維持できます。

3. 優れた耐荷重:

Semicorex 炭化ケイ素セラミック カンチレバー パドルは、その独自の構造設計と優れた材料特性 (高い機械的強度と硬度) の恩恵を受けて、優れた耐荷重性を実現します。この卓越した耐荷重により、大量生産のニーズを満たす大規模なバッチのウェーハの重量に耐えることができ、ウェーハのバッチ処理の効率が効果的に向上します。

4. 顕著な耐食性:

Semicorex 炭化ケイ素セラミック カンチレバー パドルは、半導体および太陽光発電の製造プロセスにおいて高温で存在する酸素、塩素、その他の腐食性物質に対して優れた耐食性を示します。この優れた性能は、炭化ケイ素セラミック カンチレバー パドルの損傷による損失と時間を回避し、生産プロセスのスムーズな動作を保証するために非常に重要です。

Semicorex 炭化ケイ素セラミック カンチレバー パドルの梱包方法