炭化ケイ素カセットボート

セミコレックス炭化ケイ素カセットボート安定した高強度構造により、複数枚の半導体ウエハを安全かつ正確に保持、搬送、ハンドリングするために不可欠な搬送部品です。これらはさまざまな高温半導体プロセスで広く使用されており、一貫した処理結果を得るために熱とガスの流れの分布を最適化します。

厳選された原材料

Semicorex 炭化ケイ素カセットボートは、半導体グレードの炭化ケイ素粉末から高温焼結により精密に製造されており、以下の優れた特性を備えています。

1.超高純度:基板の不純物含有量は 100 PPM 未満に制御され、不純物レベルはCVD炭化ケイ素コーティングは 1 PPM 未満に達する場合があります。

2.信頼できる耐食性:炭化ケイ素セラミックは強力な耐食性を実現し、ほとんどの酸（塩酸、硫酸、フッ化水素酸など）、アルカリ（苛性ソーダなど）、溶剤、酸化性媒体に対する耐食性を備えています。

3.優れた熱管理能力:優れた耐熱性と低い熱膨張係数を備えた炭化ケイ素カセットボートは、約 1250 °C の高温で長時間の動作条件にさらされた場合でも、化学的特性と機械的強度を維持できます。

精密に設計された構造

1. 水平フレーム構造:Semicorex 炭化ケイ素カセットボートは水平フレーム構造により、水平型高温炉管に完璧にフィットします。

2. 等間隔のスロットノッチ:Semicorex 炭化ケイ素カセット ボートは、多数の等間隔のスロット ノッチを備えており、ウェーハを所定の位置にしっかりと保持することができ、ウェーハの位置ずれによる不要な傷、磨耗、損傷を大幅に防ぎ、半導体プロセスの安定性とウェーハの歩留まりを効果的に確保します。

3. マルチスロット設計:Semicorex 炭化ケイ素カセットボートは、複数のウェーハを搬送できるように設計された複数のスロットにより、単一バッチ処理のスループットと全体的な生産効率を向上させることができます。

4. オープンアーキテクチャ:Semicorex 炭化ケイ素カセットボートには思慮深いオープンアーキテクチャが装備されており、均一なガス分布と十分な反応接触の実現に役立ち、それによって一貫性のないプロセス結果を効果的に最小限に抑えることができます。