炭化ケイ素ブッシュ

Semicorex の超高純度炭化ケイ素ブッシングは、次世代のリソグラフィーおよびウェーハ処理アプリケーションに最適で、汚染を最小限に抑え、非常に長寿命の性能を提供します。当社の製品は価格面で優れており、ヨーロッパおよびアメリカの市場の多くをカバーしています。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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製品説明

Semicorex 超平坦炭化ケイ素ブッシングは、高純度の焼結炭化ケイ素であり、高い耐熱性と耐食性を備え、高温や腐食性の作業状況などの極端な環境でも優れた安定性を示します。
Semicorex では、高品質でコスト効率の高い炭化ケイ素ブッシングの提供に重点を置き、顧客満足を優先し、コスト効率の高いソリューションを提供します。当社は、高品質の製品と優れた顧客サービスを提供する、お客様の長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
当社の炭化ケイ素ブッシングの詳細については、今すぐお問い合わせください。

炭化ケイ素ブッシュのパラメータ

技術的特性
索引	ユニット	価値
材質名		反応焼結炭化ケイ素	無加圧焼結炭化ケイ素	再結晶炭化ケイ素
構成		RBSiC	SSiC	R-SiC
かさ密度	g/cm3	3	3.15±0.03	2.60-2.70
曲げ強度	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80～90（20℃） 90～100(1400℃)
圧縮強度	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
硬度	ボタン	2700	2800	/
粘り強さを打ち破る	MPa・m1/2	4.5	4	/
熱伝導率	W/m.k	95	120	23
熱膨張係数	10^-6.1/℃	5	4	4.7
比熱	ジュール/g 0k	0.8	0.67	/
空気中の最高温度	℃	1200	1500	1600
弾性率	GPA	360	410	240