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炭化ケイ素ブッシュ
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炭化ケイ素ブッシュ

Semicorex の超高純度炭化ケイ素ブッシングは、次世代のリソグラフィーおよびウェーハ処理アプリケーションに最適で、汚染を最小限に抑え、非常に長寿命の性能を提供します。当社の製品は価格面で優れており、ヨーロッパおよびアメリカの市場の多くをカバーしています。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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製品説明

Semicorex 超平坦炭化ケイ素ブッシングは、高純度の焼結炭化ケイ素であり、高い耐熱性と耐食性を備え、高温や腐食性の作業状況などの極端な環境でも優れた安定性を示します。
Semicorex では、高品質でコスト効率の高い炭化ケイ素ブッシングの提供に重点を置き、顧客満足を優先し、コスト効率の高いソリューションを提供します。当社は、高品質の製品と優れた顧客サービスを提供する、お客様の長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
当社の炭化ケイ素ブッシングの詳細については、今すぐお問い合わせください。


炭化ケイ素ブッシュのパラメータ

技術的特性

索引

ユニット

価値

材質名

反応焼結炭化ケイ素

無加圧焼結炭化ケイ素

再結晶炭化ケイ素

構成

RBSiC

SSiC

R-SiC

かさ密度

g/cm3

3

3.15±0.03

2.60-2.70

曲げ強度

MPa (kpsi)

338(49)

380(55)

80~90(20℃) 90~100(1400℃)

圧縮強度

MPa (kpsi)

1120(158)

3970(560)

> 600

硬度

ボタン

2700

2800

/

粘り強さを打ち破る

MPa・m1/2

4.5

4

/

熱伝導率

W/m.k

95

120

23

熱膨張係数

10-6.1/℃

5

4

4.7

比熱

ジュール/g 0k

0.8

0.67

/

空気中の最高温度

1200

1500

1600

弾性率

GPA

360

410

240


SSiC と RBSiC の違い:

1. 焼結プロセスが異なります。 RBSiCは炭化ケイ素に低温で遊離Siを浸透させたもので、SSiCは2100度で自然収縮により形成されます。

2. SSiC はより滑らかな表面、より高密度、より高い強度を備えています。より厳しい表面要件を持つ一部のシーリングでは、SSiC の方が優れています。

3.異なるPHと温度で異なる使用時間、SSiCはRBSiCより長い


超硬ブッシュの特長

高純度SiCコーティンググラファイト
優れた耐熱性と均熱性
微細なSiC結晶コーティングにより滑らかな表面を実現
薬品洗浄に対する高い耐久性
ひび割れや剥離が起きにくい素材設計となっております。


炭化ケイ素セラミックスの製作可能形状:

●セラミックロッド/セラミックピン/セラミックプランジャー

●セラミックチューブ/セラミックブッシュ/セラミックスリーブ

●セラミックリング/セラミックワッシャー/セラミックスペーサー

●セラミックディスク

●セラミック板・セラミックブロック

●セラミックボール

●セラミックピストン

●セラミックノズル

●セラミックるつぼ

●その他カスタムセラミックパーツ




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