シリコンカーバイドボート

セミコレックスシリコン炭化物ボートは、例外的な熱安定性を示し、酸化と拡散プロセスに必要な極端な温度に耐えることができます。彼らの優れた熱衝撃耐性は、亀裂や変形のリスクを最小限に抑え、長時間の寿命を確保します。高密度SIC組成は優れた機械的強度を提供し、連続的な熱サイクリングの下で​​も構造の完全性を維持します。機械的ストレスに対するこの例外的な抵抗は、ウェーハの汚染と破損の可能性を減らし、より高いプロセスの収量に貢献します。さらに、SICボートは優れた耐薬品性耐性を持ち、酸化および拡散ステップで使用される攻撃的なプロセスガスに対して不活性のままです。この特徴は、ウェーハの純度と生産効率を損なう可能性のある望ましくない反応を防ぎます。

シリコン炭化物ボートは、主に酸化炉と拡散炉で利用されており、高温および反応性ガスへのウェーハ暴露を正確に制御することが不可欠です。それらは、熱酸化中のウェーハをサポートして、高品質の二酸化シリコン層を栽培し、ドーパントガスへの制御された暴露を介した均一なドーピングを促進します。さらに、それらは、アニーリングや、長時間の熱曝露を必要とする他の高温治療のための安定したプラットフォームを提供します。

従来のクォーツやグラファイトボートと比較して、シリコンカーバイドボートは、比類のない耐久性、寿命、およびパフォーマンスを提供します。汚染を最小限に抑えながら、過酷な熱および化学環境に耐える能力は、高精度の半導体製造に好ましい選択となります。品質と革新に焦点を当てた当社のシリコンカーバイドボートは、優れたパフォーマンスを提供し、世界中の半導体メーカーの高収量と効率的なウェーハ処理を確保しています。高度なノードテクノロジーであろうと、レガシー半導体製造の場合でも、これらのボートは、厳しい業界の要件を満たすための信頼できるソリューションを提供します。

（1）キャリングと保護：シリコン炭化物ボートは、内部ブラケットやスロットを介してウェーハなどの半導体材料を運び、炭化物シリコン材料の高温と腐食抵抗を使用して、外部環境からウェーハを保護します。

（2）均一な暖房：シリコン炭化物ボートにより、熱処理プロセス中に内部のウェーハを均等に加熱することができます。これにより、ウェーハの各部分の温度と反応速度が熱処理プロセス中に一貫性を保ち、それによりウェーハの収量と品質が向上することを保証するのに役立ちます。

現在、3つの主要なタイプがあります炭化シリコンセラミック材料：反応焼結、圧力のない焼結、および再結晶焼結。ほとんどの用途では、反応焼結炭化物はより適切で費用対効果の高い製品です。再結晶したSICボートは通常焼結し、最初にいくつかのユニット部品を処理し、次にSIペーストを使用して高温のボートに部品を組み合わせ、最後にCVD-SICコーティング（約100UM）を塗布します。再結晶は多孔質であるため、SICコーティングがない場合、半導体プロセスに部分的なものを導入します。 CVD-SICコーティングを備えたこのタイプの再結晶SICボートは、最長の製造プロセスであり、非常に高価です。 SICコーティンググラファイトボートと比較して、CVD-SICコーティングされた再結晶SICボートにはCTEミスマッチの問題はありません。