SiCウエハーボート

Semicorex は、垂直 / コラムおよび水平構成の両方に対応するウェーハボート、ペデスタル、およびカスタムウェーハキャリアを提供します。当社は長年にわたり炭化ケイ素コーティング膜の製造・供給を行っております。当社の SiC ウェーハボートは価格面での利点があり、ヨーロッパとアメリカの市場のほとんどをカバーしています。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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製品説明

さまざまな業界のウェーハ処理に信頼性の高いソリューションを提供するように設計された、当社の高品質 SiC ウェーハボートのご紹介です。これらのセラミック台座は高純度セラミックを使用して製造されており、熱衝撃、摩耗、化学的腐食に対する優れた耐性を備えており、過酷なウェーハ処理環境に最適です。
当社の SiC ウェーハボートは高度にカスタマイズ可能であり、お客様と協力して独自の仕様を満たすカスタム台座を作成することができます。私たちは、お客様のご要望に応える高品質で信頼性の高い製品をお届けできると自負しています。当社のセラミックウェーハボートは長持ちし、耐用年数が長いように作られているため、投資から最大限の価値を確実に得ることができます。
今すぐ注文して、ウェハ処理業務における当社の高品質 SiC ウェハボートの利点を体験してください。

SiCウェーハボートのパラメータ

技術的特性
索引	ユニット	価値
材質名		反応焼結炭化ケイ素	無加圧焼結炭化ケイ素	再結晶炭化ケイ素
構成		RBSiC	SSiC	R-SiC
かさ密度	g/cm3	3	3.15±0.03	2.60-2.70
曲げ強度	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80～90（20℃） 90～100(1400℃)
圧縮強度	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
硬度	ボタン	2700	2800	/
粘り強さを打ち破る	MPa・m1/2	4.5	4	/
熱伝導率	W/m.k	95	120	23
熱膨張係数	10^-6.1/℃	5	4	4.7
比熱	ジュール/g 0k	0.8	0.67	/
空気中の最高温度	℃	1200	1500	1600
弾性率	GPA	360	410	240