SiCリフレクター

Semicorex SiC リフレクターは、その並外れた熱伝導率、高い反射率、比類のない耐久性で知られており、半導体産業に不可欠なものとなっています。

SiC リフレクターは、半導体製造プロセスにおいて光と熱エネルギーを反射するように設計された特殊な光学部品です。炭化ケイ素 (SiC) はケイ素と炭素の化合物であり、その優れた物理的および化学的特性で知られています。 SiC で作られたリフレクターは、極端な条件に耐えられるように設計されており、高温、腐食性環境、高エネルギー光子が存在する用途に最適です。

SiC リフレクターの最も重要な利点の 1 つは、優れた熱伝導性です。 SiC 材料は、酸化アルミニウム (Al2O3) や石英などの従来の材料よりも数倍高い熱伝導率を持っています。この特性により効率的な放熱が可能となり、過熱を防ぎ、高温条件下でも安定した性能を確保します。

SiC リフレクターは、特に紫外 (UV) および赤外 (IR) スペクトルにおいて優れた反射率を示します。この高い反射率により、最大量の光がターゲット領域に向けられるようになり、フォトリソグラフィー、急速熱処理 (RTP)、化学蒸着 (CVD) などの半導体プロセスの効率が向上します。

炭化ケイ素は、その硬度と耐摩耗性で知られています。 SiC リフレクターは耐久性が高く、機械的ストレスに耐えることができ、化学的腐食にも耐性があります。この耐久性により製品寿命が長くなり、交換やメンテナンスの頻度が減り、最終的には総所有コストが削減されます。