SiC拡散ボート

SiC 拡散ボートの利点を詳しく説明します。

構造安定性と熱抵抗: Semicorex SiC 拡散ボートは、高温での優れた熱安定性と寸法整合性を備えているため、高温処理や熱処理用途での使用に非常に有利です。

優れた耐食性: SiC 拡散ボートは優れた耐食性を示し、過酷な化学条件や環境条件下でも長期間の性能を保証します。

高純度材料: SiC 拡散ボートは高純度マトリックスと炭化ケイ素膜から製造されており、不純物の導入を効果的に防止し、製造プロセスにおける汚染を軽減します。この高純度は製品の品​​質向上に大きく貢献します。

低密度: SiC 拡散ボートは他の多くの材料に比べて密度が比較的低いため、軽量で取り扱いや加工時に扱いやすくなります。

多用途用途: SiC 拡散ボートは、太陽光発電および半導体装置、特にウェーハ処理プロセスにおける重要な耐荷重コンポーネントに最適です。

半導体縦型炉での利用: Semicorex SiC 拡散ボートは主に、高温酸化およびアニール プロセス用の半導体縦型炉で使用されます。このアプリケーションは、これらの特定の半導体製造手順を促進する上でのそれらの重要な役割を強調しています。