SiC コーティングされたグラファイトバレルサセプター

Semicorex SiC コーティングされたグラファイト バレル サセプタは、優れた熱分布と熱伝導性を必要とする半導体製造用途に最適です。高純度 SiC コーティングと優れた密度により、優れた保護特性と熱分散特性が実現し、最も厳しい環境でも信頼性の高い一貫したパフォーマンスを保証します。

当社の SiC コーティングされたグラファイト バレル サセプターは、最適な層流ガス フロー パターンを実現し、熱プロファイルの均一性を確保するように設計されています。これにより、汚染や不純物の拡散が防止され、ウェーハチップ上で高品質のエピタキシャル成長が保証されます。

SiC コーティングされたグラファイトバレルサセプターの詳細については、今すぐお問い合わせください。

SiC コーティングされたグラファイトバレルサセプタのパラメータ

SiCコートグラファイトバレルサセプタの特長

- グラファイト基板と炭化ケイ素層は両方とも良好な密度を備えており、高温および腐食性の作業環境において良好な保護役割を果たします。

- 単結晶成長に使用される炭化ケイ素コーティングされたサセプタは、非常に高い表面平坦性を持っています。

- グラファイト基板と炭化ケイ素層の熱膨張係数の差を低減し、接着強度を効果的に向上させ、亀裂や層間剥離を防ぎます。

・グラファイト基材と炭化ケイ素層はいずれも熱伝導率が高く、熱分布特性に優れています。

- 高融点、高温酸化耐性、耐食性。