SiCチャック

Semicorex SiC チャック (炭化ケイ素チャック) は、主に半導体製造や精密加工用途で使用される特殊なコンポーネントです。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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製品説明

Semicorex SiC チャックは、優れた熱伝導率、高強度、耐摩耗性と化学的腐食に対する優れた耐性で知られており、要求の厳しい環境でも優れた性能を発揮するように設計されています。

SiC チャックは効果的に熱を放散し、半導体ウェーハの完全性を維持するために重要な高温プロセス中の安定した熱管理を保証します。炭化ケイ素本来の堅牢性により、優れた耐久性を実現し、高応力下での機械的故障や変形のリスクを軽減します。 SiC チャックはほとんどの化学薬品や酸に耐性があり、過酷な物質にさらされる可能性のある環境に適しているため、動作寿命が長くなります。 SiC チャックは熱膨張係数が低いため、温度が変化しても形状と構造の完全性を維持し、繊細なウェハの高精度なハンドリングを保証します。

温度制御と耐薬品性が重要な化学蒸着 (CVD) や物理蒸着 (PVD) などのプロセスで広く使用されています。

Semicorex SiC チャックは高度な製造分野に不可欠であり、その優れた特性は製品品質の向上、業務効率の向上、メンテナンスコストの削減に貢献します。