SiCセラミックウェーハボート

高温および高腐食の動作条件下でプロセスの安定性とウェーハの歩留まりを確保するには、信頼性が高く耐久性のあるウェーハボートを選択することが重要です。セミコレックスSiCセラミックウェーハボートは、高集積化、高安定性、高温耐性、耐摩耗性、長寿命などの複数の利点を備えているため、これらの目的には理想的な選択肢です。

厳選されたプレミアム原材料

Semicorex の品質管理SiCセラミックウェーハボート原料の厳格な選択から始まります。 Semicorex SiC セラミック ウェーハ ボートは、高温焼結により高純度の半導体レベルの炭化ケイ素粉末から作られています。プレミアム原材料のおかげで、以下の優れたパフォーマンスを実現します。

1. 超高純度、金属不純物の混入が少ない。

2. 高密度の材料構造により、粒子の脱落によるウェーハの汚染が減少します。

3. プラズマ、強酸、強アルカリに対する耐食性に優れています。

4. 硬度と機械的強度が高く、耐摩耗性と耐傷性があります。

5. 熱安定性に優れ、1250℃でも変形やクリープがありません。

6. 耐熱衝撃性に優れ、急激な温度変化による熱応力を軽減します。

考え抜かれたカスタマイズされたデザイン

Semicorex SiC セラミック ウェーハ ボートは、TEL、ASM、国際電気など、業界の多くの大手炉 OEM とよく適合します。 Semicorex は、大切なお客様向けにカスタム設計のソリューションを提供し、ウェーハボートの寸法、スロット ピッチ、スロットの深さ、スロット プロファイル (V 字型または U 字型)、および対応する角度のカスタマイズをサポートして、お客様の装置および処理要件との完全な互換性を実現します。

精密加工精度

Semicorex は、高度な機械加工装置と成熟した加工技術に支えられ、SiC セラミック ウェーハ ボートの寸法と公差を厳密に管理することができます。この高精度の寸法制御により、動作中に半導体ウェーハがしっかりと位置決めされるため、滑りや傾きによるウェーハの損傷が効果的に防止されます。精密機械加工後、SiC セラミック ウェーハ ボートの等間隔のスロットにより、酸化、拡散、CVD プロセス中に各ウェーハが均一に加熱され反応することが保証され、プロセスの一貫性と半導体チップの歩留まりの向上に大きく貢献します。