SiCセラミックカンチレバーパドル

大きなウェーハ積載力の炭化ケイ素 SiC セラミックカンチレバーパドルは、安定した性能、高温でも変形せず、大きなウェーハ積載力を備えているため、ロボットの自動ローディングおよびハンドリングシステムに適しています。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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製品説明

カンチレバーパドルの断面が変形せず安定しているため、既存の炉心管を使用してより大きなサイズのウエハを製造することが可能です。 SiC セラミックカンチレバーパドルは、LPCVD コーティングと同様の熱膨張係数に基づいて LPCVD に適用できるため、メンテナンスと洗浄サイクルが大幅に延長され、汚染物質が大幅に削減されます。

図面や作業環境に合わせて製作いたします。

特徴：

大きな負荷

低い熱伝導率

高温耐性