SICカンチレバーパドル

Semicorex sic Cantileverパドルは、半導体熱処理装置（LPCVD、PECVD、酸化、および拡散炉）のウェーハハンドリングとウェーハ輸送用に正確に設計された高性能コンポーネントです。これらのカンチレバーパドルは、ウェーハのプラットフォームと、過酷な高温プロセス（多くの場合1200°Cを超える）を介した脆性ウェーハの安定した信頼性の高い輸送を保証する必要な形式のサポートを提供します。カンチレバーパドルは、半導体製造環境に機械的耐久性、熱安定性、および抗腐食特性を提供する高純度炭化シリコン（SIC）から製造されています。

炭化シリコンは、優れた熱伝導率、熱膨張が低く、化学的に敵対的な環境で確実に機能する能力を備えたスーパープレミアムセラミック材料です。カンチレバーのパドルの炭化シリコンは、サーマルワーピングを減らすのに役立ちます

 ウェーハを平らにし、名目処理位置に保つ動き。カンチレバーパドルのコンテキストでのウェーハの熱安定性は、特に高度なノードデバイスを生産する際に粒子汚染と機械的運動の問題を最小限に抑えるために重要です。これらの問題は、収量の損失またはコストのかかる再加工とウェーハの交換をもたらす可能性があります。

SICカンチレバーパドルのモノリシック形式は、機械的な堅牢性と熱均一性を改善しながら、一般的に複合材料に存在する可能性のある関節と弱点を排除します。さらに、パドルの表面仕上げは特異的に制御されており、一般的に微粒子の生成を最小限に抑えるために鏡の品質に近いように研磨され、非常にクリーンルームクラスに準拠しています。

酸素、蒸気、その他の反応性ガスを含む拡散および酸化プロセス。従来の材料は、時間の経過とともに溶け込んだり変形したりする場合があります。 SICの固有の化学的不活性特性により、パドルは不安定な材料の使用により、より安定したプロセスと信頼できる結果に貢献しているため、プロセスに汚染を腐食させ、腐食させて導入しません。  SICカンチレバーパドルの構造的完全性は、加熱と冷却の迅速なサイクリングにもかかわらず安定したままです。したがって、彼らはメンテナンスを大幅に削減するか、部品交換のダウンタイムを備えた長い運用サービス寿命を提供します。

さらに、SICパドルの質量と軽量の減少により、熱応答が速くなります。これにより、生産性とエネルギー効率の向上に貢献したより速い熱ランプアップとクールダウン時間を可能にします。これは、半導体製造の競争的景観におけるすべての主要なメトリックです。

SICカンチレバーパドルは、さまざまな炉のデザインと100 mmから300 mm以上の範囲のウェーハサイズを収容するために設計および製造されたさまざまな構成とサイズで供給できます。 OEMと機器のインテグレーターは、フロントエンドプロセスとバックエンドプロセスの両方で展開するために、時間の経過とともにSICパドルの一貫性と信頼性を高く評価しています。

Semicorexは、材料の純度、微細構造、および寸法公差を厳しく制御するプレミアムSICカンチレバーパドルを提供します。半導体熱ダイナミクスの知識と相まって、当社の高度なプロセス機能により、安定性、清潔さ、耐久性のための業界標準を満たすか、それを超えるこれらの属性をパドルを生成できます。それが正しくて信頼できる必要があるとき、Semicorexは高品質のSICコンポーネントに行く場所です。