SiCカンチレバーパドル

Semicorex SiC (炭化ケイ素) カンチレバー パドルは、半導体製造プロセス、特に拡散や RTP (急速熱処理) などのプロセス中の拡散炉や LPCVD (低圧化学蒸着) 炉で使用される重要なコンポーネントです。これは、これらの炉のプロセス チューブ内でウェーハを支持し、搬送する目的を果たします。

Semicorex SiC カンチレバー パドルは主に炭化ケイ素で構成されており、高温耐性と優れた機械的特性で知られる堅牢で熱的に安定した素材です。 SiC は、半導体炉の高温プロセス環境内で遭遇する過酷な条件に耐える能力を備えて選択されています。 SiC カンチレバー パドルの設計により、チューブの外側の一端でしっかりと固定されながら、炉のプロセス チューブ内に延ばすことができます。この設計により、炉内の熱環境との干渉を最小限に抑えながら、処理中のウェーハの安定性とサポートが確保されます。

SiC カンチレバー パドルは、拡散や RTP などのさまざまな高温プロセス中に、プロセス チューブ内で半導体ウェーハを安全に搬送します。その堅牢な構造により、これらのプロセス中に遭遇する極端な温度や化学環境に劣化や故障を起こすことなく耐えることができます。 SiC カンチレバー パドルは、業界で一般的に使用されている幅広い半導体ウェーハ サイズおよび形状と互換性があるように設計されています。多くの場合、特定の炉構成やプロセス要件に合わせてカスタマイズ可能です。