SiCボート

Semicorex SiC ボートは、比類のない熱安定性、卓越した機械的強度、揺るぎない化学的不活性性で知られる高純度 SiC セラミックから細心の注意を払って作られています。これらの品質により、半導体製造の厳しい条件に最適です。

SiC ボートは、材​​料の硬度と優れた耐摩耗性により、比類のない機械的強度と耐久性を誇ります。これにより、徐々に磨耗することなく、高スループットの半導体製造環境の厳しい性質に耐えることができます。他の材料とは異なり、SiC は長期にわたってその構造的完全性を維持するため、頻繁な交換の必要性が大幅に軽減され、製造作業のダウンタイムが最小限に抑えられ、最終的には半導体メーカーの大幅なコスト削減につながります。

SiC の化学的不活性性は、反応性ガスや塩素やフッ素などの一般的に使用される材料からの化学的攻撃に対する耐性を高めることで、半導体プロセスへの適合性をさらに強固なものにします。この堅牢な耐性により、処理中に SiC ボートがウェーハを汚染することがなくなり、製造される半導体デバイスの純度と品質が維持されます。さらに高いレベルの耐薬品性が要求されるプロセスでは、SiC ボートを追加の SiC 層でコーティングすることができ、化学的攻撃に対する追加のバリアを提供し、ボートの表面仕上げを向上させて微粒子汚染のリスクを軽減します。

半導体製造では不純物を最小限に抑えた材料が要求されるため、これらのボートに使用される SiC セラミックの高純度は非常に重要です。たとえ微量の汚染物質であっても、ウェーハの電気特性が損なわれ、最終デバイスに欠陥が生じる可能性があります。 SiC ボートは超高純度 SiC セラミックから設計されており、半導体製造に典型的な高温や反応条件下であっても、プロセス環境に不純物が混入しないように設計されています。この純度により、重要なプロセスステップにおける SiC ボートの信頼性が確固たるものになります。

SiC ボートとさまざまな半導体装置との互換性は最も重要です。 SiC は多用途性を備えているため、さまざまな種類の半導体炉や反応炉に必要な特定の寸法や構成に合わせて精密に機械加工することができ、小規模な研究開発業務から大規模な生産ラインまで、幅広い用途に適しています。さらに、この材料の優れた熱伝導率と熱放散特性は、処理中の温度制御の効率化に貢献し、半導体デバイスの性能と歩留まりをさらに向上させます。