SICボートホルダー

セミコレックスSICボートホルダーは、半導体製造の高温プロセス中にウェーハボートを保持するように設計された精密サポートデバイスです。高純度の炭化シリコン（SIC）から作られたこれらのホルダーは、優れた熱安定性、耐薬品性、および機械的剛性、拡散、酸化、エピタキシャル成長などのプロセスで使用される場合に不可欠な特徴を示します。

厳しい半導体製造環境では、ウェーハの完全性を保護し、汚染を最小限に抑えることが重要です。 SICボートホルダーは、変形せずに汚染物質の放出なしに完全性を維持しながら、極端な炉環境に耐えることができる固体で不活性なプラットフォームを提供します。それらの化学的不活性により、反応性プロセスガスでの使用が可能になり、熱透過率は一貫した処理のためにウェーハの表面の加熱さえ促進します。

各SICボートホルダーは、寸法精度に対して高い耐性で製造されているため、ウェーハボートの種類と自動負荷構成に簡単に対応し、適応できます。それらの剛性構造は、ウェーハボートを強く、安定した、適切なサポートを生み出すだけでなく、ウェーハでの微小振動または位置シフトが可能なチャンスを減らします。さらに、炭化シリコンは耐摩耗性が優れており、繰り返しの熱サイクリングを処理して、バイアル部品のダウンタイムと交換がほとんどなくなるため、長寿命を提供できます。

炭化シリコンのユニークな属性は、プロセスの清潔さに関して追加の利点を提供できます。金属や低グレードのセラミック材料とは異なり、SICは、極端な温度または血漿中で、剥離、outgas、または化学的に劣化することはありません。これにより、SICボートホルダーは、高収量と純度を必要とする高度な半導体ノードのクリーンルームの汚染を制限しようとするメーカーにとって素晴らしいツールになります。

セミコレックスSICボートホルダーは、バッチ間および複数のボートホルダー間で均一な微細構造と機械的性能を確保するユニークな成形および焼結プロセスを使用して生産されます。たとえば、ホルダーの形状またはスロット構成は、取り付けの種類と同様にカスタマイズできます。

垂直炉または水平原子炉で使用されるかどうかにかかわらず、セミコレックスSICボートホルダーをカスタマイズすると、次世代半導体製造の許容範囲が満たされます。 Semicorex製品を選択すると、知識が豊富で、材料の卓越性に専念しているサプライヤーと協力し、信頼性と配信に関してセラミックコンポーネントを継続的に革新するよう努めていることがわかります。