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炭化ケイ素セラミックウェーハボート

Semicorex は、垂直 / コラムおよび水平構成の両方に対応するウェーハボート、ペデスタル、およびカスタムウェーハキャリアを提供します。当社は長年にわたり炭化ケイ素コーティング膜の製造・供給を行っております。当社の炭化ケイ素セラミックウェーハボートは価格面での利点があり、ヨーロッパおよびアメリカ市場のほとんどをカバーしています。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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半導体ウェーハチャック

Semicorex の高度な高純度炭化ケイ素でコーティングされたコンポーネントは、ウェーハ取り扱いプロセスにおける極端な環境に耐えるように構築されています。当社の半導体ウェーハチャックは価格面で優れており、ヨーロッパおよびアメリカ市場の多くをカバーしています。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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RTP SiC コーティングキャリア

Semicorex RTP SiC コーティングキャリアは、優れた耐熱性と熱均一性を備え、半導体ウェーハ処理用途に最適なソリューションです。高品質の SiC コーティングされたグラファイトを備えたこの製品は、エピタキシャル成長のための最も過酷な堆積環境に耐えるように設計されています。高い熱伝導率と優れた熱分布特性により、RTA、RTP、または過酷な化学洗浄において信頼性の高いパフォーマンスが保証されます。

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RTP/RTA SiC コーティングキャリア

Semicorex RTP/RTA SiC コーティングキャリアは、成膜環境の最も厳しい条件に耐えるように設計されています。高い耐熱性と耐腐食性を備えたこの製品は、エピタキシャル成長に最適な性能を発揮するように設計されています。 SiC コーティングされたキャリアは、高い熱伝導率と優れた熱分散特性を備えており、RTA、RTP、または過酷な化学洗浄に対して信頼性の高いパフォーマンスを保証します。

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