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製品
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液相エピタキシー (LPE) リアクター システム
Semicorex 液相エピタキシー (LPE) リアクター システムは、優れた熱性能、均一な熱プロファイル、および優れたコーティング密着性を提供する革新的な製品です。高純度、高温酸化耐性、耐食性により、半導体産業での使用に最適です。カスタマイズ可能なオプションとコスト効率により、市場での競争力の高い製品となっています。
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半導体エピタキシャルリアクタのバレル構造
Semicorex の半導体エピタキシャル リアクター用バレル構造は、その卓越した熱伝導率と熱分布特性により、LPE プロセスやその他の半導体製造用途での使用に最適です。高純度 SiC コーティングは、高温および腐食環境において優れた保護を提供します。
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SiC コーティングされたグラファイトバレルサセプター
半導体製造アプリケーションで使用する高性能グラファイト サセプタをお探しの場合、Semicorex SiC コーティング グラファイト バレル サセプタが理想的な選択肢です。その卓越した熱伝導率と熱分布特性により、高温および腐食環境において信頼性が高く一貫したパフォーマンスを実現するための有力な選択肢となっています。
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SiC コーティング結晶成長サセプター
高い融点、耐酸化性、耐食性を備えた Semicorex SiC コーティング結晶成長サセプターは、単結晶成長用途での使用に最適です。炭化ケイ素コーティングにより優れた平坦性と熱分布特性が得られ、高温環境に最適です。
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液相エピタキシー用バレルサセプター
最も要求の厳しい高温および腐食環境でも確実かつ一貫して機能するグラファイト サセプターが必要な場合、液相エピタキシー用 Semicorex バレル サセプターが最適です。炭化ケイ素コーティングは優れた熱伝導性と熱分布を提供し、半導体製造用途で優れたパフォーマンスを保証します。
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炭化ケイ素コーティングされたグラファイトバレル
Semicorex 炭化ケイ素コーティングされたグラファイト バレルは、高い耐熱性と耐腐食性が必要な半導体製造用途に最適です。その卓越した熱伝導率と熱分布特性により、LPE プロセスやその他の高温環境での使用に最適です。
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