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製品
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ウェーハ真空チャック
Semicorex の超高純度セラミック コンポーネントは、次世代リソグラフィーおよびウェーハ処理アプリケーションに最適で、汚染を最小限に抑え、非常に長寿命の性能を提供します。当社のウェーハ真空チャックは価格面で優れており、ヨーロッパおよびアメリカ市場の多くをカバーしています。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
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半導体プロセス向けの耐久性のあるフォーカスリング
Semicorex の半導体処理用耐久性フォーカス リングは、半導体処理で使用されるプラズマ エッチング チャンバーの極限環境に耐えるように設計されています。当社のフォーカス リングは、緻密で耐摩耗性の高い炭化ケイ素 (SiC) コーティングでコーティングされた高純度グラファイトでできています。 SiCコーティングは耐食性、耐熱性に優れ、熱伝導性にも優れています。フォーカス リングの耐用年数を向上させるために、化学蒸着 (CVD) プロセスを使用してグラファイト上に SiC を薄層で塗布します。
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プラズマ処理フォーカスリング
Semicorex プラズマ処理フォーカス リングは、半導体産業におけるプラズマ エッチング処理の高い要求を満たすように特別に設計されています。当社の高度な高純度炭化ケイ素コーティングされたコンポーネントは、極限環境に耐えるように構築されており、炭化ケイ素層やエピタキシー半導体などのさまざまな用途での使用に適しています。
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SiCフォーカスリング
Semicorex の高度な高純度 SiC フォーカス リングは、プラズマ エッチング (またはドライ エッチング) チャンバー内の極限環境に耐えるように構築されています。当社は炭化ケイ素層やエピタキシー半導体などの半導体産業に注力しています。当社の製品は価格面で優れており、ヨーロッパおよびアメリカの市場の多くをカバーしています。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
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MOCVDインレットシールリング
Semicorex は、中国における炭化ケイ素コーティングされたグラファイトの大規模メーカーおよびサプライヤーです。当社の MOCVD インレット シール リングは価格面で優れており、ヨーロッパおよびアメリカ市場の多くをカバーしています。私たちはあなたの長期的なパートナーになることを楽しみにしています。
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MOCVDインレットリング
Semicorex は、中国における炭化ケイ素コーティングされたグラファイトの大規模メーカーおよびサプライヤーです。当社の MOCVD インレット リングは価格面で優れており、ヨーロッパおよびアメリカ市場の多くをカバーしています。私たちはあなたの長期的なパートナーになることを楽しみにしています。
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