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製品
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SiCコーティングPSSエッチングキャリア
エピキシャル成長やウェーハハンドリング処理で使用されるウェーハキャリアは、高温や過酷な化学洗浄に耐える必要があります。 Semicorex SiC コーティング PSS エッチング キャリアは、これらの要求の厳しいエピタキシー装置アプリケーション向けに特別に設計されています。当社の製品は価格面で優れており、ヨーロッパおよびアメリカの市場の多くをカバーしています。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
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LPEエピタキシャル成長用SiCコーティングバレルサセプタ
Semicorex LPE エピタキシャル成長用 SiC コーティング バレル サセプタは、長期間にわたって一貫した信頼性の高いパフォーマンスを提供するように設計された高性能製品です。均一な熱プロファイル、層流ガス流パターン、および汚染防止により、ウェーハチップ上に高品質のエピタキシャル層を成長させるのに理想的な選択肢となります。そのカスタマイズ性とコスト効率により、市場での競争力の高い製品となっています。
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バレルレシーバーエピシステム
Semicorex バレル サセプタ エピ システムは、優れたコーティング密着性、高純度、耐高温酸化性を備えた高品質の製品です。均一な熱プロファイル、層流ガス流パターン、および汚染防止により、ウェーハチップ上のエピキシャル層の成長には理想的な選択肢となります。コスト効率とカスタマイズ性により、市場での競争力の高い製品となっています。
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液相エピタキシー (LPE) リアクター システム
Semicorex 液相エピタキシー (LPE) リアクター システムは、優れた熱性能、均一な熱プロファイル、および優れたコーティング密着性を提供する革新的な製品です。高純度、高温酸化耐性、耐食性により、半導体産業での使用に最適です。カスタマイズ可能なオプションとコスト効率により、市場での競争力の高い製品となっています。
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バレルリアクターでの CVD エピタキシャル堆積
Semicorex バレル リアクター内 CVD エピタキシャル成長は、ウェーハ チップ上にエピキシャル層を成長させるための耐久性と信頼性の高い製品です。高温酸化耐性と高純度により、半導体産業での使用に適しています。均一な熱プロファイル、層流ガス流パターン、および汚染防止により、高品質のエピキシャル層成長には理想的な選択肢となります。
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バレルリアクターでのシリコンエピタキシャル堆積
半導体製造アプリケーションで使用する高性能グラファイト サセプタが必要な場合、Semicorex バレル リアクター内シリコン エピタキシャル堆積が理想的な選択肢です。高純度の SiC コーティングと卓越した熱伝導率により、優れた保護特性と熱分布特性を実現し、最も困難な環境でも信頼性が高く一貫したパフォーマンスを実現するための有力な選択肢となっています。
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