LPE部品

Semicorex LPE パーツは、SiC エピタキシー プロセスで使用するために特別に設計された高性能 SiC コーティングされたコンポーネントです。これらのコンポーネントは、SiC 結晶成長の厳しい条件に耐えられるように設計されており、優れた熱安定性、耐薬品性、機械的強度を実現します。 Semicorex の LPE 部品を選択すると、優れた耐久性、精度、そして SiC エピタキシー プロセスのニーズに合わせたソリューションが保証されます。

Semicorex LPE パーツは高度な素材と精密な製造技術で作られており、すべてのユニットの一貫性と信頼性を保証します。コーティングの物理的および化学的特性には、高温耐性と耐食性に関する厳しい要件があり、製品の歩留まりと寿命に直接影響します。 SiC 材料は、高強度、高硬度、低熱膨張係数、良好な熱伝導率を備えています。重要な高温構造材料および高温半導体材料です。グラファイト基材に塗布します。その利点は次のとおりです。

1) SiC は耐食性があり、グラファイトベースを完全に包み込むことができ、密度が高く、腐食性ガスによる損傷を防ぎます。 2) SiC は熱伝導率が高く、グラファイトベースとの結合強度が高いため、高温・低温サイクルを繰り返してもコーティングが剥がれにくいです。 3) SiC は優れた化学的安定性を備えており、高温および腐食性雰囲気下でのコーティングの破損を回避します。さらに、さまざまな材料のエピタキシャル炉には、さまざまな性能指標を備えたグラファイト トレイが必要です。黒鉛材料の熱膨張係数を一致させるには、エピタキシャル炉の成長温度に適応させる必要があります。たとえば、炭化ケイ素エピタキシーの温度は高く、高い熱膨張係数を備えたトレイが必要です。 SiC の熱膨張係数はグラファイトの熱膨張係数に非常に近いため、グラファイト ベースの表面コーティングに適した材料として適しています。

SiCエピタキシープロセスでの応用

SiC エピタキシー プロセスは、パワー エレクトロニクスやオプトエレクトロニクスなどの半導体デバイスに使用される高品質の SiC ウェーハの製造において重要なステップです。 LPE 部品、特に SiC コーティングを施した部品は、リアクター内の温度と化学反応を正確に制御する上で重要な役割を果たします。これらのコンポーネントは、SiC 結晶の純度と均一性を維持しながら最適なウェーハ成長を促進するために、リアクター内に戦略的に配置されています。

Semicorex では、すべての SiC エピタキシー プロセスに固有の要件があることを理解しています。そのため、当社の LPE パーツは、お客様の運用の特定のニーズに合わせて完全にカスタマイズできます。サイズ、形状、コーティングの厚さを問わず、当社のエンジニアリング チームはお客様と緊密に連携して、生産プロセスを最適化するコンポーネントを提供します。

当社の部品には高品質のSiCコーティングが施されており、優れた耐久性も保証します。従来の材料とは異なり、SiC は過酷な動作条件でも長寿命を実現し、メンテナンスの頻度とダウンタイムを削減します。この寿命の長さは、半導体メーカーの運用コストの削減と効率の向上につながります。

Semicorex LPE パーツは精密に設計され、SiC エピタキシー プロセスの厳しい要求を満たすように設計されています。当社のコンポーネントは最新のテクノロジーを使用して製造されており、比類のないパフォーマンスと寿命を保証します。 Semicorex を選択することは、半導体製造の複雑さを理解し、生産能力を強化する信頼性の高い高品質の製品を提供することに尽力するパートナーを選択することになります。

Semicorex LPE 部品、SiCコーティング、SiC エピタキシー リアクターの性能と寿命を向上させるための理想的な選択肢です。これらのコンポーネントは優れた熱安定性、耐薬品性、機械的強度を提供し、SiC 結晶成長プロセスがスムーズかつ効率的に実行されることを保証します。 Semicorex はカスタマイズ オプションを利用できるため、お客様の特定のプロセス要件を満たすカスタマイズされたソリューションを提供し、世界中の半導体メーカーの信頼できるパートナーとなっています。