グラファイトチャック

Semicorex Graphite Chuckはから設計されています特殊なグラファイト、その優れた熱耐性と耐薬品性で認識されています。そのようなグラファイトチャックのユニークな例は、化学物質や熱に対する非常に高い耐性で知られているため、その形式のグラファイトから特別に設計されていました。これにより、チャックが非常に長持ちし、化学蒸気堆積（CVD）またはプラズマエッチングで使用されている最も困難な条件で、または高温炉でも機能します。そのため、非常に低い不純物を持つ高い純度は、ポリシリコンの生産中に汚染を引き起こさないことをすでに意味します。それらは、温度が上昇すると非常に安定しているため、顕著な変形なしに2000°Cをはるかに上回る温度を持つことができます。さらに、それらはまた、ほとんどの化学物質に対して優れた耐性を持っているため、塩酸（HCl）や四塩化シリコン（SICL4）などの非常に困難な条件下で生存します。機械的強度が高いことは、チャックが連続負荷をかけた場合でもそのフォームを保持できることを意味します。

グラファイトチャックは、ウェーハ処理と結晶の成長において重要です。それらは、化学蒸気堆積（CVD）など、あらゆる段階ですべての製造において主要な役割を果たし、均一なシリコン堆積を確保します。スライスと研磨中、彼らはウェーハ切断と表面仕上げに安定したサポートを提供します。熱処理では、シリコンウェーハアニーリングおよびドーピングプロセスの熱耐性ベースとして機能し、生産ラインの効率と品質を大幅に向上させます。

どのようにして私たちのパフォーマンスの均一性を確保することができますか黒鉛?

まず、炭化。私たちの炉にはわずか115立方メートルがあります。当社の技術チームは、各炉のさまざまな領域でグラファイト製品の温度フィールドをテストします。温度が上昇し始めたら、低温状態（0〜200°）で、約±10°で制御し、高温状態（600°以上）で±1°で制御します。異なるグラファイト間の温度場をテストするだけでなく、各グラファイト材料の表面と内部温度をテストし、±3°で制御します。炭化炉の各炉の8つの温度ポイントをテストします。

2つ目はグラフィット化です。例として500 kgを使用すると、8つの温度ポイントもテストします。サンプルは、破壊的なテストのためにグラフィット化された製品の任意の位置でランダムに検査されます。破壊後、24ポイントがテストされます。テストはXYZ軸とは別に実行され、その均一性を確保します。業界のほとんどの企業は、X軸またはせいぜいXY軸のみをテストします。

一般メーカーは6〜8ポイントのみをテストし、より良いものは12ポイントをテストし、24ポイントをテストします。

Semicorex Graphite Chuckは、高性能で信頼性が高く、費用対効果の高いツールを求めるPolysiliconメーカーにとって不可欠なソリューションです。高度な材料特性と精密エンジニアリングにより、当社の製品は、ソーラー業界でのシリコンウェーハ生産の効率と品質を向上させます。詳細またはカスタム仕様については、今すぐお問い合わせください。