Semicorex の ICP プラズマ エッチング トレイは、エピタキシーや MOCVD などの高温ウェーハ ハンドリング プロセス向けに特別に設計されています。当社のキャリアは、最大 1600°C までの安定した高温酸化耐性を備えており、均一な熱プロファイル、層流ガス フロー パターンを提供し、汚染や不純物の拡散を防ぎます。
続きを読むお問い合わせを送信Semicorex の ICP プラズマ エッチング システム用 SiC コーティング キャリアは、エピタキシーや MOCVD などの高温ウェーハ ハンドリング プロセスにとって信頼性が高くコスト効率の高いソリューションです。当社のキャリアは、優れた耐熱性、均一な熱均一性、耐久性のある耐薬品性を提供する微細な SiC 結晶コーティングを備えています。
続きを読むお問い合わせを送信Semicorex の誘導結合プラズマ (ICP) 用炭化ケイ素でコーティングされたサセプタは、エピタキシーや MOCVD などの高温ウェーハ ハンドリング プロセス用に特別に設計されています。当社のキャリアは、最大 1600°C の安定した高温酸化耐性を備えており、均一な熱プロファイル、層流ガス フロー パターンを保証し、汚染や不純物の拡散を防ぎます。
続きを読むお問い合わせを送信Semicorex の ICP エッチング ウェーハ ホルダーは、エピタキシーや MOCVD などの高温ウェーハ ハンドリング プロセスに最適なソリューションです。当社のキャリアは、最大 1600°C までの安定した高温酸化耐性を備えており、均一な熱プロファイル、層流ガス フロー パターンを保証し、汚染や不純物の拡散を防ぎます。
続きを読むお問い合わせを送信Semicorex の ICP エッチング キャリア プレートは、要求の厳しいウェーハの取り扱いや薄膜堆積プロセスに最適なソリューションです。当社の製品は、優れた耐熱性と耐腐食性、均一な熱均一性、および層流のガス流パターンを提供します。清潔で滑らかな表面を備えた当社のキャリアは、新品のウェーハを扱うのに最適です。
続きを読むお問い合わせを送信Semicorex の ICP エッチングプロセス用ウェーハホルダーは、要求の厳しいウェーハハンドリングや薄膜堆積プロセスに最適です。当社の製品は、優れた耐熱性と耐腐食性、均一な熱均一性、および一貫した信頼性の高い結果をもたらす最適な層流ガス フロー パターンを誇ります。
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