製品

Semicorex sicセラミックボートは、最新の半導体ウェーハ処理の厳しい需要に必要な純度、強度、熱抵抗、および寸法精度の最適な組み合わせを提供します。 *

セミコレックスエッジリングは、世界中の主要な半導体ファブとOEMによって信頼されています。厳格な品質管理、高度な製造プロセス、アプリケーション駆動型の設計により、Semicorexはツールの寿命を延ばし、ウェーハの均一性を最適化し、高度なプロセスノードをサポートするソリューションを提供します。

Semicorex sic Robot Handsは、高度で信頼性の高いウェーハ移動のために設計された高精度の超クリーンエンド効果です。上級セラミックの業界をリードする専門知識のためのセミコレックスを選択します。

Semicorex CVD SIC Edge Ringは、半導体製造におけるエッチングの均一性を高め、ウェーハエッジを保護するために設計された高性能プラズマ向け成分です。比類のない材料の純度、精密工学、および高度なプラズマプロセス環境で実証済みの信頼性については、セミコレックスを選択してください。*

CVD SICで作られたセミコレックスガス分布プレートは、プラズマエッチングシステムの重要なコンポーネントであり、均一なガス分散と一貫したプラズマ性能を確実に保証するように設計されています。 Semicorexは、高性能セラミックソリューションの信頼できる選択肢であり、比類のない材料純度、エンジニアリング精度、および高度な半導体製造の要求に合わせた信頼できるサポートを提供します。

セミコレックスSICコーティングされたウェーハキャリアは、高温半導体プロセス中に最適なウェーハサポート用に設計されたCVD炭化物シリコンでコーティングされた高純度グラファイト受容器です。一致していないコーティング品質、精密な製造、および世界中の主要な半導体ファブから信頼できる実証済みの信頼性については、セミコレックスを選択してください。*