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LPE部品

Semicorex LPE パーツは、SiC エピタキシープロセス用に特別に設計された SiC コーティングされたコンポーネントであり、卓越した熱安定性と耐薬品性を備え、高温で過酷な環境でも効率的な動作を保証します。 Semicorex 製品を選択すると、SiC エピタキシー成長プロセスを最適化し、生産効率を向上させる、高精度で長期にわたるカスタムソリューションの恩恵を受けることができます。*

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SiCコーティングフラットレセプター

Semicorex SiC コーティングフラットサセプタは、半導体製造における正確なエピタキシャル成長用に設計された高性能基板ホルダーです。 CVD プロセスの効率と精度を向上させる、信頼性と耐久性に優れた高品質のサセプタを得るには、Semicorex をお選びください。*

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SiCコーティングパンケーキサセプタ

Semicorex SiC コーティングパンケーキサセプタは、MOCVD システムで使用するために設計された高性能コンポーネントで、エピタキシャル層成長中の最適な熱分布と耐久性の向上を保証します。半導体製造特有の要求を満たすように調整され、優れた品質、信頼性、長い耐用年数を提供する精密設計製品のセミコレックスをお選びください。

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フロン系治具

Semicorex CFC 治具は、炭素繊維複合治具としても知られ、熱処理分野でますます人気が高まっています。従来の金属製の固定具に比べて大きな利点があります。

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グラファイトローターとシャフト

Semicorex のグラファイトローターとシャフトのアセンブリは、主にアルミニウムおよびアルミニウム合金の精錬における脱ガスに使用される重要な部品です。

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グラファイトヒートシールド

過酷な環境での処理効率を確保するために、Semicorex グラファイトヒートシールドは、高級グラファイト素材と最先端の製造技術で作られています。

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