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Al2O3真空チャック

Semicorex Al2O3 真空チャックは、薄化、ダイシング、洗浄、ウェーハの搬送など、さまざまな半導体製造プロセスの厳しい要求を満たすように設計されています。 **

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アルミナセラミック真空チャック

セミコレックスアルミナセラミック真空チャックは、半導体製造におけるウェーハの薄化・研削工程に使用され、高精度で信頼性の高い半導体製造を実現するために欠かせないツールです**。

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SiCコーティングヒーター

Semicorex SiC コーティングヒーターの CVD SiC コーティングは、有機金属化学気相成長 (MOCVD) やエピタキシャル成長などのプロセスでよく遭遇する過酷で腐食性、反応性の環境から発熱体を保護する優れた性能を提供します。**

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カセットハンドル

Semicorex の PFA および PTFE 製カセットハンドルは、半導体処理におけるウェーハカセットの安全かつ効率的な移動を保証します。優れた耐薬品性と熱安定性を備えた高性能で耐久性のあるハンドルを備えたセミコレックスをお選びください。これにより、最適なウェーハ保護と製造効率が保証されます。*

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ウエハーカセットボックス

Semicorexウェハカセットボックスは、半導体製造におけるウェハの洗浄・乾燥性能の向上を目的とした、大きな開口面積を備えたPFAフッ素樹脂製カセットボックスです。高品質、耐久性、耐薬品性のウェーハハンドリングソリューションを提供してきた実績のあるセミコレックスをお選びください*。

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ウエハーカセット

Semicorex PFA ウェーハカセットは、半導体処理中にウェーハを安全に保持および搬送するために使用される高性能コンポーネントです。業界をリードする品質を備えたセミコレックスをお選びください。優れたウェーハ保護、汚染制御、自動化システムとの互換性が保証されます。*

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