ガラス状のカーボンコーティングフェルト

セミコレックスガラスのカーボンコーティングは、炭化シリコンのエピタキシャル反応器で内部絶縁層として作用します。これは、高度な熱環境向けに設計された高性能断熱材です。この製品は、その軽量で優れた熱断熱特性のために優れたソリューションを提供することにより、典型的な半導体高温製造の課題を克服しますグラファイトフェルト、ガラス状のカーボンコーティングによって与えられる表面の完全性と化学的不活性と相まって。

基本材料は高い純度ですグラファイトフェルト熱伝導率が低いため、高温の安定性と軽量で選択します。通常のグラファイトフェルトには、通常、敏感なエピタキシャル系のプロセス環境を汚染する可能性のある高温で表面繊維の脱落と粒子生成があります。この問題を軽減するために、グラファイトフェルトの表面は、ガラス状の炭素の層で均一にコーティングされています。その化学的不活性、低ガス透過性、および例外的な熱安定性で知られている密な非多孔質の炭素です。

Glassy Carbonは、ガラスとセラミックの特性を組み合わせた非引力炭素です。結晶グラファイトとは対照的に、それは不活性ガス雰囲気中のフェノール樹脂、フルフリルアルコールリセンなどの重合した有機前駆体の高温焼結によって形成される、アモルファスでほぼ100％Hybridized炭素材料です。全体に黒で、ガラスに似た滑らかな表面があるため、Glassy Carbonと呼ばれます。

ガラス状のカーボンコーティングは、炉の粒子の生成を排除し、密閉された表面細孔を提供し、優れた断片的な特性を持ち、透過性を低下させることができ、この材料は半導体産業の連続鋳造金型や製品に非常に適しています。この材料には、半導体業界、特に単結晶シリコンプル装置コンポーネント、エピタキシャル成長成分、連続鋳造金型、ガラスシーリングジグなどのグラファイト部品に幅広い用途があります。

ガラス炭素は、不活性ガスまたは真空で最大3000°Cまでの高温抵抗を持ち、他のすべてのセラミックおよび金属高温材料とは異なり、ガラス状の炭素の強度は最大2700kまでの温度を上げるにつれて増加し、脆くなく、非常に高い熱衝撃耐性を持つため、短い加熱と冷却時間は問題ありません。さらに、ガラス状の炭素は低質量、低熱吸収、熱膨張率が低いため、ほぼすべての高温用途に適しています。

ガラス状のカーボンコーティングは、グラファイトフェルトの表面毛穴を密閉する上で重要な役割を果たし、動作中の粒子と炭素粉塵の放出を大幅に減らします。これは、最小限の汚染でさえウェーハの品質とデバイスのパフォーマンスを損なう可能性があるSICエピタキシャル成長プロセスで特に重要です。フェルトの多孔質構造を滑らかで硬いガラスの炭素シェルでカプセル化することにより、コーティングは反応チャンバー内の清潔で安定した熱環境を保証します。

Glassy Carbon Coating Felideの重要な利点は次のとおりです。

粒子の脱落の減少：密なコーティングは、ゆるい繊維と粒子に効果的に閉じ込められ、ウェーハと反応器成分の汚染を防ぎます。

高い熱安定性：グラファイトフェルトとガラス状の炭素の両方が、不活性または真空雰囲気で2000°Cを超える温度に耐えることができるため、製品は高温SICプロセスに最適です。

化学的不活性：ガラス状の炭素表面は、ほとんどの酸や腐食性ガスに耐性があり、過酷な条件下で断熱層の動作寿命を延ばします。

プロセスの一貫性の改善：最小化された粒子生成は、高品質のSICウェーハを生成するために不可欠な、より安定した再現性のあるエピタキシャル成長環境に貢献します。

ガラス状のカーボンコーティングのアプリケーションは、主にSICエピタキシャル成長炉にまで及び、ホットゾーン内の熱断熱層として使用されています。この製品は通常、断熱材の上または下部の断熱材に裏地材料として設置され、熱保護と清潔さの保証の両方を提供します。