ガラス状カーボンコーティング硬質フェルト

ガラス状カーボンコーティングされた硬質フェルトの主な利点の 1 つは、その優れた耐熱性です。ガラス状炭素コーティングにより、この材料は不活性雰囲気中で 2000°C までの温度に耐えることができるため、高温の半導体プロセスに最適です。この機能は、コーティングの低い熱膨張と高い熱衝撃耐性によって補完され、炭素繊維の硬質フェルト基材を急激な温度変動時の損傷から保護します。これらの特性は半導体製造において非常に重要であり、繊細なコンポーネントの完全性を維持するには一貫した熱管理が不可欠です。

ガラス状炭素コーティングは、炭素繊維硬質フェルトに顕著な耐薬品性と耐食性も与えます。この耐性により、攻撃的な化学物質や腐食剤にさらされることを特徴とする環境でも材料が安定して効果を維持できることが保証されます。コーティングのガスや液体に対する不浸透性により、基材がさらに保護され、性能を損なう可能性のある浸透が防止されます。この特性により、ガラス状カーボンコーティングされた硬質フェルトは、過酷な化学プロセスにさらされることが一般的な半導体製造において特に価値があります。

高純度は、ガラス状炭素コーティングによってもたらされるもう 1 つの重要な利点です。達成可能な純度レベルは 99.99999% に達し、このコーティングは粒子の発生を最小限に抑えます。これは半導体のクリーンルーム環境において重要な考慮事項です。粒子の放出が減少すると汚染が防止され、半導体デバイスの信頼性と歩留まりが向上します。この純度は、全方向に均一な特性を保証する材料の等方性構造と組み合わされて、ガラス状カーボンコーティングされた硬質フェルトの幅広い用途にわたる一貫した性能に貢献します。

ガラス状カーボンコーティングの電気伝導性と熱伝導性により、硬質フェルトの多用途性がさらに高まります。これらの導電特性により、効率的な熱と電流の管理が可能になり、ヒーターやその他の熱処理装置などのアプリケーションをサポートします。効果的な熱的および電気的性能を促進することにより、ガラス状カーボンコーティングされた硬質フェルトは、精度が最優先される複雑な半導体システムにおいて不可欠な資産となります。

半導体産業では、ガラス状カーボンコーティングされた硬質フェルトの用途は広範囲かつ多様です。これは、耐薬品性と熱的能力が重要であるプラズマ エッチングおよび化学蒸着 (CVD) ツールのコンポーネントに理想的な材料です。さらに、この材料は分析装置の効果的なスパッタリング ターゲットおよびサンプル ホルダーとして機能し、その高純度および安定性により正確な結果が保証されます。この多用途性は、ガラス製造プロセス用の治具にも使用され、その耐熱性と不浸透性を利用して、ガラス材料の成形および成形のパフォーマンスを最適化します。

半導体の領域を超えて、ガラス状炭素コーティングの利点は他のハイテク用途にも影響を及ぼします。その耐熱性と化学的不活性により、温度と化学的相互作用の正確な制御が必要なヒーターや熱分析装置での使用に適しています。極端な条件下でも性能を維持するこの材料の能力により、要求の厳しい幅広い産業用途において信頼性の高いコンポーネントであり続けることが保証されます。

多孔質ガラス状カーボンのSEM画像