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TaC コーティングされたグラファイト部品

Semicorex TaC コーティンググラファイトパーツは、SiC 結晶成長およびエピタキシープロセスで使用するために設計された高性能コンポーネントで、熱安定性と耐薬品性を強化する耐久性のある炭化タンタルコーティングを備えています。当社の革新的なソリューション、優れた製品品質、半導体業界の厳しいニーズに合わせてカスタマイズされた信頼性が高く耐久性の高いコンポーネントを提供する専門知識を備えたセミコレックスをお選びください。

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TaCコーティンググラファイトチャック

Semicorex TaC コーティンググラファイトチャックは、半導体製造における正確なウェハハンドリングと高温プロセス向けに設計された高性能コンポーネントです。要求の厳しい半導体アプリケーションで最適なパフォーマンスと寿命を保証する、革新的で耐久性のある製品のセミコレックスをお選びください。*

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TaCリング

Semicorex TaC リングは、SiC 単結晶成長用に設計された高性能コンポーネントであり、最適なガス流量分布と温度制御を保証します。先進材料と精密エンジニアリングの専門知識を備えたセミコレックスをお選びください。半導体プロセスの効率と品質を向上させる、耐久性と信頼性の高いソリューションを提供します。*

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PBN静電チャック

Semicorex の PBN 静電チャックは、そのユニークな材料特性により、半導体製造におけるウェーハハンドリングの分野で際立っています。

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窒化ケイ素ローラー

Semicorex が提供する窒化ケイ素ローラーは、高性能セラミック材料であるガス圧焼結窒化ケイ素 (Si3N4) から作られています。

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SiCロータリーシールリング

Semicorex SiC ロータリーシールリングは、高圧高温条件下でも機能するように設計されています。このような環境における安定性と耐久性により、従来の材料が故障する可能性があるシーリング用途において非常に貴重なコンポーネントとなります。

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