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シリコンカーバイド真空チャック

セミコレックス炭化シリコン真空チャックは、多孔質炭化物から作られた高性能ウェーハハンドリングソリューションです。取り付け（ワックスング）、薄く、脱線、洗浄、障害、迅速な熱アニーリング（RTA）などの重要なプロセス中に、半導体ウェーハの真空吸着のために特異的に設計されています。一致していない材料の純度、寸法精度、および要求の厳しい半導体環境における信頼できるパフォーマンスについては、セミコレックスを選択してください。*

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グラファイトロッドヒーター

セミコレックスグラファイトロッドヒーターは、真空炉内の均一な高温発生用に設計された高性能加熱要素です。精密設計グラファイトソリューションの専門知識については、産業ニーズに合わせて優れた熱安定性と長期にわたるパフォーマンスを提供するために、Semicorexを選択してください。

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グラファイト電極ロッド

セミコレックスグラファイト電極ロッドは、真空炉のコア加熱要素として使用される高純度グラファイトコンポーネントです。比類のない材料の品質、精密機械加工、および高温真空環境での信頼できるパフォーマンスについては、セミコレックスを選択してください。

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アルミナロボットアーム

Semicorex Alumina Robot Armは、半導体製造における正確なウェーハ処理のために設計された高性能セラミックコンポーネントです。その優れた強度、断熱、および熱安定性により、クリーンルームの自動化環境を要求するのに最適です。

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アルミナセラミックエンドエフェクター

セミコレックスアルミナセラミックエンドエフェクターは、半導体製造および関連用途における信頼性の高い汚染のないウェーハ処理用に特別に設計された精密設計コンポーネントです。*

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多孔質SICチャック

セミコレックス多孔質SICチャックは、半導体処理に安全で均一なウェーハ吸着のために設計された高性能セラミック真空チャックです。その設計されたマイクロ多孔質構造により、優れた真空分布が保証され、精密アプリケーションに最適です。*

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