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カスタマイズされた多孔質セラミックチャック

カスタマイズされた多孔質セラミックチャックは、半導体製造専用に設計された優れたワークピースのクランプおよび固定ソリューションです。 Semicorex を選択すると、信頼性の高い品質、カスタマイズサービス、生産性の向上によるメリットが得られます。

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炭素-炭素複合るつぼ

Semicorex カーボンカーボン複合材るつぼは、熱場システム向けに設計されており、高温に耐えられるカーボンカーボン複合材で構成された最先端のソリューションです。並外れた強度、優れた熱伝導性、強力な化学的安定性、および優れた断熱性により、結晶成長を促進するのに最適です。

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単結晶シリコンシャワーヘッド

ガススプレーヘッドまたはガス分配プレートとして知られる単結晶シリコンシャワーヘッドは、洗浄、エッチング、堆積などの主要なプロセスステップの半導体製造プロセスで広く使用されているガス分配デバイスです。高品質でコスト効率の高い単結晶シリコンシャワーヘッドは、半導体産業におけるチップ製造の精度と品質を向上させるために不可欠です。

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シリコンペデスタルボート

Semicorex シリコンペデスタルボートは、高温の酸化、拡散、および LPCVD プロセスで正確かつ安定したウェーハをサポートするように設計された 9N 超高純度ウェーハキャリアです。比類のない材料純度、精密加工、実証済みの信頼性を備えた Semicorex をお選びください*

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シリコンインジェクター

Semicorex シリコンインジェクターは、LPCVD ポリシリコン堆積プロセスで正確かつ汚染のないガスを供給できるように設計された超高純度の管状コンポーネントです。業界をリードする純度、精密加工、実証済みの信頼性を備えた Semicorex をお選びください。*

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SiCウェハカセット

Semicorex SiC ウェーハカセットは、高度な半導体製造の厳しい要求を満たすように設計された、高純度で精密に設計されたウェーハハンドリングコンポーネントです。 Semicorex は、安定性、清浄度、精度を重視して構築されたソリューションを提供し、高温かつ超清浄な環境下でのウェーハの安全で信頼性の高い輸送と処理を保証します。*

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