MOCVDインレットシールリング

Semicorex は、中国における炭化ケイ素コーティングされたグラファイトの大規模メーカーおよびサプライヤーです。当社の MOCVD インレットシールリングは価格面で優れており、ヨーロッパおよびアメリカ市場の多くをカバーしています。私たちはあなたの長期的なパートナーになることを楽しみにしています。

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製品説明

Semicorex 炭化ケイ素コーティング MOCVD インレットシールリングは、蒸着、ウェーハハンドリングプロセスで使用される高純度 SiC コーティングされたグラファイトです。 SiC コーティングされた MOCVD インレットシールリングは、高い耐熱性と耐腐食性を備え、過酷な環境でも優れた安定性を発揮します。

Semicorex では、高品質でコスト効率の高い MOCVD インレットシールリングを提供することに重点を置き、顧客満足度を優先し、コスト効率の高いソリューションを提供します。当社は、高品質の製品と優れた顧客サービスを提供する、お客様の長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

MOCVDインレットシールリングのパラメータ

CVD-SICコーティングの主な仕様
SiC-CVDの特性
結晶構造	FCC βフェーズ
密度	g/cm3	3.21
硬度	ビッカース硬さ	2500
粒度	μm	2~10
化学純度	%	99.99995
熱容量	J kg-1 K-1	640
昇華温度	℃	2700
感覚の強さ	MPa(室温4点)	415
ヤング率	Gpa (4pt曲げ、1300℃)	430
熱膨張 (C.T.E)	10-6K-1	4.5
熱伝導率	(W/mK)	300