Semicorex は、中国の大規模なシリコン カーバイド コーティング グラファイトのメーカーおよびサプライヤーです。当社の MOCVD インレット シール リングは、優れた価格優位性を備えており、ヨーロッパおよびアメリカの多くの市場をカバーしています。私たちはあなたの長期的なパートナーになることを楽しみにしています.
Semicorex シリコン カーバイド コーティング MOCVD インレット シール リングは、高純度の SiC コーティングされたグラファイトで、堆積、ウェーハ処理プロセスで使用されます。 SiC コーティングされた MOCVD インレット シール リングは、高い耐熱性と耐腐食性を備え、極限環境での安定性に優れています。
Semicorex では、高品質で費用対効果の高い MOCVD インレット シール リングの提供に重点を置いており、顧客満足度を優先し、費用対効果の高いソリューションを提供しています。高品質の製品と優れた顧客サービスを提供する、長期的なパートナーになることを楽しみにしています。
MOCVDインレットシールリングのパラメータ
CVD-SICコーティングの主な仕様 |
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SiC-CVDの特性 |
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結晶構造 |
FCC β 相 |
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密度 |
g/cm ³ |
3.21 |
硬度 |
ビッカース硬度 |
2500 |
粒度 |
μm |
2~10 |
化学純度 |
% |
99.99995 |
熱容量 |
J・kg-1・K-1 |
640 |
昇華温度 |
℃ |
2700 |
強靭な強さ |
MPa(RT 4点) |
415 |
ヤング率 |
Gpa (4pt ベンド、1300â) |
430 |
熱膨張 (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
熱伝導率 |
(W/mK) |
300 |
MOCVDインレットシールリングの特長
高純度SiCコーティンググラファイト
優れた耐熱性と均熱性
滑らかな表面のためにコーティングされた微細なSiC結晶
薬品洗浄に対する高い耐久性
割れや剥がれが生じにくい素材設計です。