MOCVDインレットシールリング

Semicorex は、中国の大規模なシリコンカーバイドコーティンググラファイトのメーカーおよびサプライヤーです。当社の MOCVD インレットシールリングは、優れた価格優位性を備えており、ヨーロッパおよびアメリカの多くの市場をカバーしています。私たちはあなたの長期的なパートナーになることを楽しみにしています.

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製品説明

Semicorex シリコンカーバイドコーティング MOCVD インレットシールリングは、高純度の SiC コーティングされたグラファイトで、堆積、ウェーハ処理プロセスで使用されます。 SiC コーティングされた MOCVD インレットシールリングは、高い耐熱性と耐腐食性を備え、極限環境での安定性に優れています。

Semicorex では、高品質で費用対効果の高い MOCVD インレットシールリングの提供に重点を置いており、顧客満足度を優先し、費用対効果の高いソリューションを提供しています。高品質の製品と優れた顧客サービスを提供する、長期的なパートナーになることを楽しみにしています。

MOCVDインレットシールリングのパラメータ

CVD-SICコーティングの主な仕様
SiC-CVDの特性
結晶構造	FCC β 相
密度	g/cm ³	3.21
硬度	ビッカース硬度	2500
粒度	μm	2~10
化学純度	%	99.99995
熱容量	J・kg-1・K-1	640
昇華温度	℃	2700
強靭な強さ	MPa（RT 4点）	415
ヤング率	Gpa (4pt ベンド、1300â)	430
熱膨張 (C.T.E)	10-6K-1	4.5
熱伝導率	(W/mK)	300