MOCVDインレットリング

Semicorex は、蒸着およびウェーハ処理に使用される MOCVD インレット リングを供給しています。これは、RTA、RTP、または過酷な化学洗浄に対して非常に安定しています。当社の MOCVD インレット リングは、高純度の炭化ケイ素 (SiC) でコーティングされたグラファイト構造を備えており、優れた耐熱性、一貫したエピ層の厚さと抵抗を実現する均一な熱均一性、および耐久性のある耐薬品性を実現します。微細な SiC 結晶コーティングは、きれいで滑らかな表面を提供します。これは、新品のウェーハがその領域全体の多くの点でサセプタと接触するため、取り扱いにとって重要です。

Semicorex では、高品質でコスト効率の高い MOCVD インレット リングの提供に重点を置き、顧客満足度を優先し、コスト効率の高いソリューションを提供します。当社は、高品質の製品と優れた顧客サービスを提供する、お客様の長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

MOCVD入口リングのパラメータ

MOCVDインレットリングの特長

- 密度が高く、高温および腐食性の作業環境において優れた保護役割を果たします。

- 高融点、高温酸化耐性、耐食性。