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ポンプ用メカニカルシール
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ポンプ用メカニカルシール

Semicorex は、半導体産業における炭化ケイ素層に焦点を当てた、OEM 半製造ツールおよびウェーハ処理コンポーネント向けの半導体グレードのセラミックを提供します。当社は長年にわたり炭化ケイ素コーティング膜の製造・供給を行っております。当社のポンプ用メカニカル シールは価格面での利点があり、ヨーロッパおよびアメリカ市場のほとんどをカバーしています。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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製品説明

Semicorex ポンプ用メカニカル シールは、非常に攻撃的な流体での寿命延長を求める場合に必要な性能を提供します。炭化ケイ素は、高強度で軽量なセラミック材料であり、非常に硬く、高温でも摩耗、化学薬品、腐食に対して耐性があります。これらの特性により、Semicorex 炭化ケイ素で作られたコンポーネントは、半導体、製紙、化学処理、石油とガスの生産など、さまざまな業界で最も要求の厳しい条件に耐えることができます。
ポンプ用メカニカル シールの詳細については、今すぐお問い合わせください。


ポンプ用メカニカルシールのパラメータ

技術的特性

索引

ユニット

価値

材質名

反応焼結炭化ケイ素

無加圧焼結炭化ケイ素

再結晶炭化ケイ素

構成

RBSiC

SSiC

R-SiC

かさ密度

g/cm3

3

3.15±0.03

2.60-2.70

曲げ強度

MPa (kpsi)

338(49)

380(55)

80~90(20℃) 90~100(1400℃)

圧縮強度

MPa (kpsi)

1120(158)

3970(560)

> 600

硬度

ボタン

2700

2800

/

粘り強さを打ち破る

MPa・m1/2

4.5

4

/

熱伝導率

W/m.k

95

120

23

熱膨張係数

10-6.1/℃

5

4

4.7

比熱

ジュール/g 0k

0.8

0.67

/

空気中の最高温度

1200

1500

1600

弾性率

GPA

360

410

240


SSiC と RBSiC の違い:

1. 焼結プロセスが異なります。 RBSiCは炭化ケイ素に低温で遊離Siを浸透させたもので、SSiCは2100度で自然収縮により形成されます。

2. SSiC はより滑らかな表面、より高密度、より高い強度を備えています。より厳しい表面要件を持つ一部のシーリングでは、SSiC の方が優れています。

3.異なるPHと温度で異なる使用時間、SSiCはRBSiCより長い


ポンプ用炭化ケイ素メカニカルシールの特長

- CVD 炭化ケイ素コーティングにより耐用年数が向上します。
・高性能精製硬質カーボン製断熱材。
・基板、炭化ケイ素層ともに熱伝導率が高く、熱分布特性に優れています。
- 高純度グラファイトと SiC コーティングにより、耐ピンホール性と長寿命を実現


炭化ケイ素セラミックスの製作可能形状:

●セラミックロッド/セラミックピン/セラミックプランジャー

●セラミックチューブ/セラミックブッシュ/セラミックスリーブ

●セラミックリング/セラミックワッシャー/セラミックスペーサー

●セラミックディスク

●セラミック板・セラミックブロック

●セラミックボール

●セラミックピストン

●セラミックノズル

●セラミックるつぼ

●その他カスタムセラミックパーツ



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