半導体のSiCコーティングを施したバレルサセプタ

半導体に SiC コーティングを施した Semicorex バレル サセプタは、高純度 SiC でコーティングされた高品質のグラファイト製品であり、高温および腐食環境での使用に最適です。その優れた密度と熱伝導率により、半導体製造用途において優れた熱分散と保護が実現します。
Semicorex では、高品質でコスト効率の高い製品をお客様に提供することに重点を置いています。半導体にSiCコーティングを施した当社のバレルサセプタは価格面で優位性があり、多くのヨーロッパおよびアメリカ市場に輸出されています。当社は、一貫した品質の製品と優れた顧客サービスを提供し、お客様の長期的なパートナーとなることを目指しています。

半導体のSICコーティングによるバレル受容器のパラメーター

半導体用SiCコーティングバレルサセプタの特長

- グラファイト基板と炭化ケイ素層は両方とも良好な密度を備えており、高温および腐食性の作業環境において優れた保護役割を果たします。

- 単結晶成長に使用される炭化ケイ素コーティングされたサセプタは、非常に高い表面平坦性を持っています。

- グラファイト基板と炭化ケイ素層の熱膨張係数の差を低減し、接着強度を効果的に向上させ、亀裂や層間剥離を防ぎます。

・グラファイト基材と炭化ケイ素層はいずれも熱伝導率が高く、熱分布特性に優れています。

- 高融点、高温酸化耐性、耐食性。