誘導加熱バレルエピシステム

Semicorex 誘導加熱バレル エピ システムは、優れた熱分布と熱伝導性を必要とする半導体製造アプリケーションに最適です。高純度 SiC コーティングと優れた密度により、優れた保護特性と熱分散特性が実現し、最も厳しい環境でも信頼性の高い一貫したパフォーマンスを保証します。
Semicorex では、高品質でコスト効率の高い製品をお客様に提供することに重点を置いています。当社の誘導加熱バレル エピ システムは価格面での優位性があり、多くのヨーロッパおよびアメリカの市場に輸出されています。当社は、一貫した品質の製品と優れた顧客サービスを提供し、お客様の長期的なパートナーとなることを目指しています。

誘導加熱バレルエピシステムのパラメータ

誘導加熱バレルエピシステムの特徴

- グラファイト基板と炭化ケイ素層は両方とも良好な密度を備えており、高温および腐食性の作業環境において優れた保護役割を果たします。

- 単結晶成長に使用される炭化ケイ素コーティングされたサセプタは、非常に高い表面平坦性を持っています。

- グラファイト基板と炭化ケイ素層の熱膨張係数の差を低減し、接着強度を効果的に向上させ、亀裂や層間剥離を防ぎます。

・グラファイト基材と炭化ケイ素層はいずれも熱伝導率が高く、熱分布特性に優れています。

- 高融点、高温酸化耐性、耐食性。