横型炭化ケイ素ボート

セミコレックス横型炭化ケイ素ボート3D プリンティング技術を使用して一体的に形成され、高温焼結によって製造されます。これらのコンポーネントは、さまざまなサイズの高温横型炉に適合するように特別に設計されており、拡散、酸化、化学気相成長などの重要な高温半導体製造プロセスでウェーハをしっかりと保持するために広く適用されています。

炭化ケイ素の物理化学的性質

Semicorex 横型炭化ケイ素ボートの利点s

1.安定したサポートとポジション

Semicorex の水平型炭化ケイ素ボートは、比類のない材料強度と硬度により優れた支持能力を備えており、複数のウェーハを同時に安定して搬送できます。 Semicorex の水平型炭化ケイ素ボートは、精密なスロット加工により、半導体ウェーハをしっかりと固定し、しっかりと保持することができます。等間隔のスロット構造により、処理サイクル全体を通じてウェーハが一定の位置に維持されるため、半導体製造プロセスの一貫性と精度が保証されます。

2.複雑な使用条件への対応

Semicorex の横型炭化ケイ素ボートは、優れた耐高温性と耐食性により、酸素、窒素、低濃度塩化水素の高温雰囲気などの厳しい使用環境に耐えることができます。これらの優れた材料特性により、高温腐食性ガスによる腐食や損傷を効果的に防止でき、ボートの稼働寿命を大幅に延長します。

3. 優れた清浄性能

従来の炭化ケイ素でコーティングされたグラファイトボートとは異なり、Semicorex 横型炭化ケイ素ボートは、半導体グレードの高純度のグラファイトボートで製造されています。炭化ケイ素(99.999%) 不純物含有量が極めて低い。このプレミアムな材料の選択により、高温や過酷な腐食環境にさらされた場合でも、汚染物質のガス放出やコーティングの剥離のリスクが排除されます。さらに、当社の炭化ケイ素ボートは真空パッケージングの前に厳格な超音波洗浄プロセスを受けており、これにより高度な半導体製造プロセスで要求される清浄度基準への準拠が保証されます。