水平室の炉SICボート

Semicorex Horizo​​ntal Chamber Furnace sic Boatsは、水平chamber炉で高温の熱処理を受けている間にウェーハまたは基板を保持および運ぶ高度に設計された部分です。ウェーハボートは、高純度のSIC結合で作られています 炭化シリコン（原文）、半導体、太陽光発電、および高度なセラミックプロセスで要求される強度、熱安定性、および高耐性耐性のユニークな組み合わせを提供します。ウェーハボートは、ウェーハを所定の位置に保持するための剛性構造としても機能します。ウェーハの寸法の安定性と精度は、極端なプロセス温度に延長された露出によって失われません。

炭化シリコンの優れた特性は、水平チャンバー炉のsicボートに、クォーツやアルミナなどのウェーハボートの典型的な材料と比較して、優れた性能の利点を提供します。熱サイクルの加熱と冷却の速度や極端な速度に関係なく、高融点、熱衝撃抵抗、および機械的強度により、まれな短期間の加熱と冷却サイクルに耐えることができます。水平炉は、ウェーハの位置の一貫性とプロセス条件の露出に完全に依存するため、ウェーハの適切なアライメントは、一貫したプロセスの収率と再現性を提供します。熱膨張係数が低いことは、ボートがその寿命にわたって歪んでおらず、ウェーハの形状と間隔を保持することを意味します。

再結晶したSICの細粒の密な構造は、プロセスガスと副産物による酸化、腐食、および汚染に対する顕著な耐性を提供します。これにより、ボートは、拡散、酸化、LPCVD、アニーリングなどの積極的な雰囲気のプロセスに特に有利になります。 SICの高い化学的不活性は、ウェーハ表面との反応を避け、したがって生成物の純度を維持し、炉の粒子状態を最小限に抑えます。 SICボートは、厳しい清潔さの需要を満たす必要があるメーカーを支援し、よりクリーンな処理環境を提供し、ウェーハの品質を向上させます。

これらのボートは、さまざまな複雑なジオメトリと、精密機械加工と形成技術を備えた部分固有の寸法で生成できます。通常、設計は複数の平行スロット/溝を使用して、ウェーハを水平方向にしっかりと保持し、ウェーハ表面全体を熱条件に均一に露出させます。スロットからスロット間の間隔と角度は、150 mm、200 mm、または300 mmなどの他の直径のウェーハと、処理効果中に直接気流を適合させるように最適化することもできます。

水平チャンバー炉SICボートは標準出発で設計できるだけでなく、自動化されたウェーハローダーを使用するように設計されているため、最新のハイスループット生産ラインにシームレスな統合が行われます。また、堅牢なデザインにより、ハンドリング中にボートがチップまたは破損する可能性が低くなり、代替品のダウンタイムとコストを削減します。

の熱伝導率炭化シリコンウェーハと炉環境間の効率的な熱伝達を促進するもう1つの重要な利点を表しています。利点は、製造業者がより均一な処理条件を達成し、サイクル時間を短縮できることです。これにより、生産効率が向上する可能性があります。 SICボートは、半導体ウェーハの製造、太陽電池の製造、または高温でのその他の高度な材料処理に使用されるかどうかにかかわらず、一貫した再現性のある結果を提供します。

要約すると、水平室の炉SICボートは、高性能、長期にわたる、汚染耐性のウェーハキャリアを持つウェーハを生産しようとするメーカーにとって重要な要素です。機械的強度、熱安定性、および水平炉アプリケーションでは等しくない化学的不活性があります。シリコンカーバイドボートを選択することにより、オペレーターはより良いプロセス制御、より高い収量、およびメンテナンスによる運用上の中断を最小限に抑えることができます。全体として、より効率的で費用対効果の高い作品を提供します。