高温SiCコーティングバレルサセプター

Semicorex 高温 SiC コーティングバレルサセプタは、高い耐熱性と耐食性を必要とする単結晶成長やその他の半導体製造用途に最適です。炭化ケイ素コーティングは優れた保護特性と熱分散特性を提供し、最も困難な環境でも信頼性の高い一貫したパフォーマンスを保証します。

Semicorex では、高品質でコスト効率の高い高温 SiC コーティングバレルサセプタの提供に重点を置き、顧客満足度を優先し、コスト効率の高いソリューションを提供します。当社は、高品質の製品と優れた顧客サービスを提供する、お客様の長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

高温SiCコーティングバレルサセプタのパラメータ

高温SiCコートバレルサセプタの特長

- グラファイト基板と炭化ケイ素層は両方とも良好な密度を備えており、高温および腐食性の作業環境において優れた保護役割を果たします。

- 単結晶成長に使用される炭化ケイ素コーティングされたサセプタは、非常に高い表面平坦性を持っています。

- グラファイト基板と炭化ケイ素層の熱膨張係数の差を低減し、接着強度を効果的に向上させ、亀裂や層間剥離を防ぎます。

・グラファイト基材と炭化ケイ素層はいずれも熱伝導率が高く、熱分布特性に優れています。

- 高融点、高温酸化耐性、耐食性。