高純度SiCボート

Semicorex 高純度 SiC ボートは、優れた純度の炭化ケイ素から作られており、優れた熱安定性、機械的堅牢性、および耐薬品性を示します。この材料の選択は、潜在的な汚染を軽減し、ウェーハを損傷から保護し、半導体製造で遭遇する厳しい条件に耐えるために重要です。 Semicorex は、市場をリードする高品質の製品を製造および供給するというコミットメントと、競争力のある財務上の考慮事項を結び付けて、お客様の半導体ウェーハ搬送要件を満たすパートナーシップを確立するという当社の熱意を強化しています。

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製品説明

特徴的な熱特性: Semicorex 高純度 SiC ボートは、高温環境において優れた安定性を備え、熱を効果的に伝導するため、周囲レベルを大幅に上回る温度での動作が可能です。この特性により、高純度 SiC ボートは、高出力と高温耐久性を必要とする用途に有利であると考えられます。

腐食環境に対する耐性: 高純度 SiC ボートは、さまざまな腐食剤に対して優れた耐性を示し、その粘り強い接着強度によって強化された機械的完全性を長期間維持し、動作寿命の延長に貢献します。

寸法の完全性: 高純度 SiC ボートの焼結段階では収縮が発生しないため、コンポーネントの反りや破損につながる可能性のある残留応力が回避されます。その結果、複雑な形状の部品を正確な寸法で製造することが可能になります。

Semicorex 高純度 SiC ボートは、多面的な実装としての能力において、エピタキシャル成長や化学気相成長などのさまざまな半導体製造技術にわたって有用性を見出しています。その耐久性のある設計と化学的非反応性により、高純度 SiC ボートはさまざまな処理化学薬品に適しており、多数の処理設定にスムーズに組み込むことができます。