カスタム SiC カンチレバー パドル

Semicorex カスタム SiC カンチレバー パドルは、ウェーハ ローディング システムと拡散炉の中心部の間の重要なリンクとして機能し、シリコン ウェーハを積んだ石英または SiC ウェーハ ボートを高温処理ゾーンに輸送する役割を果たします。その設計と材料特性は、この要求の厳しいタスク向けに細心の注意を払って最適化されています。

安定したウエハ搬送を実現する堅牢なカンチレバー構造:炉内に伸びる剛性アームを特徴とする片持ち梁の設計により、ウェーハの動きに優れた安定性と正確な制御が提供されます。これにより、スムーズで振動のない搬送が保証され、ロードおよびアンロード中のウェーハの破損や位置ずれのリスクが最小限に抑えられます。

効率的なバッチ処理のための高い負荷容量:SiC セラミックの固有の強度と剛性により、カスタム SiC カンチレバー パドルはシリコン ウェーハの重い負荷に対応でき、各拡散サイクルのスループットを最大化し、生産量の増加に貢献します。

シームレスな統合のための正確な寸法制御: カスタム SiC カンチレバー パドルは、正確な寸法仕様に合わせて細心の注意を払って製造されているため、拡散炉システム内に完璧にフィットし、自動ウェーハ ハンドリング ロボットとのシームレスな統合が容易になります。

SiCセラミックスの選定、具体的には反応結合炭化ケイ素 (RBSiC)そして炭化ケイ素焼結体（SSiC）カスタム SiC カンチレバー パドルに選ばれる材料は、高温環境における優れた性能特性に由来しています。

揺るぎない高温安定性: カスタム SiC カンチレバー パドルは、拡散炉内で遭遇する高温 (最大 1600°C) においても、変形やクリープに対して優れた耐性を示します。これにより、一貫したウェーハのサポートが確保され、ウェーハの均一性を損なう可能性のあるたるみや曲がりが防止されます。

優れた熱衝撃耐性:損傷することなく急速な温度変化に耐える能力は、無数の拡散サイクルにわたってカスタム SiC カンチレバー パドルの完全性を維持するために重要です。 SiC セラミックはこの点で優れており、コストのかかるダウンタイムにつながる可能性のある亀裂や破損のリスクを最小限に抑えます。

低熱膨張による正確な位置合わせ:SiC セラミックの熱膨張が最小限に抑えられているため、カスタム SiC カンチレバー パドルは、動作中に発生する幅広い温度範囲にわたって寸法安定性を維持できます。これは、炉内でウェーハの正確な位置合わせを維持し、均一な加熱と一貫した拡散プロファイルを確保するために重要です。