セラミックウエハーボート

Semicorex は、垂直 / コラムおよび水平構成の両方に対応するウェーハボート、ペデスタル、およびカスタムウェーハキャリアを提供します。当社は長年にわたり炭化ケイ素コーティング膜の製造・供給を行っております。当社のセラミックウェーハボートは価格面での利点があり、ヨーロッパおよびアメリカ市場のほとんどをカバーしています。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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製品説明

さまざまな業界のウェーハ処理に信頼性の高いソリューションを提供するように設計された、当社の高品質炭化ケイ素セラミックウェーハボートのご紹介です。これらのセラミック台座は高純度セラミックを使用して製造されており、熱衝撃、摩耗、化学的腐食に対する優れた耐性を備えており、過酷なウェーハ処理環境に最適です。
当社のセラミックウェーハボートは高度にカスタマイズされており、お客様と協力して独自の仕様を満たすカスタム台座を作成することもできます。私たちは、お客様のご要望に応える高品質で信頼性の高い製品をお届けできると自負しています。当社のセラミックウェーハボートは長持ちし、耐用年数が長いように作られているため、投資から最大限の価値を確実に得ることができます。
今すぐ注文して、ウェハ処理業務における当社の高品質セラミックウェハボートの利点を体験してください。

セラミックウェーハボートのパラメータ

技術的特性
索引	ユニット	価値
材質名		反応焼結炭化ケイ素	無加圧焼結炭化ケイ素	再結晶炭化ケイ素
構成		RBSiC	SSiC	R-SiC
かさ密度	g/cm3	3	3.15±0.03	2.60-2.70
曲げ強度	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80～90（20℃） 90～100(1400℃)
圧縮強度	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
硬度	ボタン	2700	2800	/
粘り強さを打ち破る	MPa・m1/2	4.5	4	/
熱伝導率	W/m.k	95	120	23
熱膨張係数	10^-6.1/℃	5	4	4.7
比熱	ジュール/g 0k	0.8	0.67	/
空気中の最高温度	℃	1200	1500	1600
弾性率	GPA	360	410	240

SSiC と RBSiC の違い:

1. 焼結プロセスが異なります。 RBSiCは炭化ケイ素に低温で遊離Siを浸透させたもので、SSiCは2100度で自然収縮により形成されます。

2. SSiC はより滑らかな表面、より高密度、より高い強度を備えています。より厳しい表面要件を持つ一部のシーリングでは、SSiC の方が優れています。

3.異なるPHと温度で異なる使用時間、SSiCはRBSiCより長い

セラミックウエハーボートの特徴

高純度アルミナセラミックスを使用しており、耐熱衝撃性、耐摩耗性、耐化学腐食性に優れています。
ウェーハ処理中の最適なサポートと安定性を実現するように設計されており、損傷や汚染のリスクを最小限に抑えます。
さまざまなウェーハ直径と厚さに対応できるよう、さまざまなサイズをご用意しています
独自の仕様に合わせてカスタマイズ可能
長持ちし、長寿命を実現するように設計されています