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セラミックアクスルスリーブ
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セラミックアクスルスリーブ

Semicorex は、OEM セミファブリケーション ツールおよびウェーハ ハンドリング コンポーネント用の半導体グレードのセラミックを提供します。私たちは、長年にわたって炭化ケイ素コーティングフィルムの製造業者および供給業者でした。当社のセラミック アクスル スリーブは、優れた価格優位性を備えており、ヨーロッパおよびアメリカ市場のほとんどをカバーしています。中国での長期的なパートナーになることを楽しみにしています。

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製品説明

炭化ケイ素 (SiC) は、産業市場の幅広い分野で優れた合成半導体ファイン セラミックです。 Semicorex セラミック アクスル スリーブは、高密度およびオープン ポーラス構造の両方を利用でき、材料の優れた高温強度と熱衝撃耐性、および本質的に優れた機械的特性も兼ね備えています。あらゆる種類のセラミック アクスル スリーブを処理できます。お客様の要件に。


セラミック アクスル スリーブのパラメータ

技術的特性

索引

ユニット

価値

材料名

反応焼結炭化ケイ素

常圧焼結炭化ケイ素

再結晶炭化ケイ素

構成

RBSiC

SSiC

R-SiC

かさ密度

g/cm3

3

3.15±0.03

2.60-2.70

曲げ強度

MPa (kpsi)

338(49)

380(55)

80~90(20℃)90~100(1400℃)

圧縮強度

MPa (kpsi)

1120(158)

3970(560)

> 600

硬度

ヌープ

2700

2800

/

粘り強さを破る

MPa・m1/2

4.5

4

/

熱伝導率

W/m.k

95

120

23

熱膨張係数

10-6.1/℃

5

4

4.7

比熱

ジュール/g 0k

0.8

0.67

/

空気中の最高温度

1200

1500

1600

弾性率

Gpa

360

410

240


Semicorex は、反応焼結炭化ケイ素 (RBSiC)、無圧焼結炭化ケイ素 (SSiC)、再結晶炭化ケイ素 (R-SiC) の 3 つの形態でセラミック アクスル スリーブを製造しました。


SSiC と RBSiC の違い:

1. 焼結工程が異なります。 RBSiCは低温で遊離Siを炭化ケイ素に浸透させるもので、SSiCは2100度で自然収縮して形成されます。

2. SSiC は、表面がより滑らかで、密度が高く、強度が高いため、表面要件がより厳しい一部のシーリングでは、SSiC の方が優れています。

3. 異なる PH と温度の下で異なる使用時間、SSiC は RBSiC よりも長い


セラミックアクスルスリーブの特長

・高強度(ダイヤモンドに次ぐモース硬度9.5)

- 酸、アルカリ、塩、有機溶剤に対する耐食性

- 高熱伝導率、耐プラズマ性、長寿命

- 半導体


炭化ケイ素セラミックスの利用可能な形状

・セラミックロッド・セラミックピン・セラミックプランジャー

â セラミックチューブ / セラミックブッシング / セラミックスリーブ

・セラミックリング・セラミックワッシャー・セラミックスペーサー

â セラミックディスク

â セラミックプレート・セラミックブロック

â セラミックボール

â セラミックピストン

…セラミックノズル

â セラミック坩堝

â その他カスタムセラミックパーツ




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