バッチウェーハボート

Semicorex バッチ ウェーハ ボートは、優れた耐薬品性と熱安定性を備えた高品質の炭化ケイ素セラミック素材で作られています。
当社のバッチ ウェーハ ボートは滑らかな表面仕上げで、処理中に優れたウェーハ サポートと保護を提供します。 SiC コーティングは処理中の均一性と安定性を確保し、ウェーハを汚染や損傷から保護します。優れた熱伝導率と優れた機械的強度を備えた当社のウェーハホルダーは、一貫した信頼性の高い結果を提供します。
当社の専門家チームは最高の品質とサービスを提供することに尽力しています。当社はお客様の特定の要件を満たすカスタム設計を提供し、当社のバッチ ウェーハ ボートは品質保証プログラムによって裏付けられています。

バッチウェーハボートのパラメータ

SSiC と RBSiC の違い:

1. 焼結プロセスが異なります。 RBSiCは炭化ケイ素に低温で遊離Siを浸透させたもので、SSiCは2100度で自然収縮により形成されます。

2. SSiC はより滑らかな表面、より高密度、より高い強度を備えています。より厳しい表面要件を持つ一部のシーリングでは、SSiC の方が優れています。

3.異なるPHと温度で異なる使用時間、SSiCはRBSiCより長い

バッチウェーハボートの特長

・高強度（ダイヤモンドに次ぐモース硬度9.5）
- 酸、アルカリ、塩、有機溶剤に対する耐食性
- 高い熱伝導率、耐プラズマ性、長寿命
- 半導体