バッチウェーハボート

Semicorex は、垂直 / コラムおよび水平構成の両方に対応するウェーハボート、ペデスタル、およびカスタムウェーハキャリアを提供します。当社は長年にわたり炭化ケイ素コーティング膜の製造・供給を行っております。当社のバッチウェーハボートは価格面で優れており、ヨーロッパおよびアメリカ市場のほとんどをカバーしています。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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製品説明

Semicorex バッチウェーハボートは、優れた耐薬品性と熱安定性を備えた高品質の炭化ケイ素セラミック素材で作られています。
当社のバッチウェーハボートは滑らかな表面仕上げで、処理中に優れたウェーハサポートと保護を提供します。 SiC コーティングは処理中の均一性と安定性を確保し、ウェーハを汚染や損傷から保護します。優れた熱伝導率と優れた機械的強度を備えた当社のウェーハホルダーは、一貫した信頼性の高い結果を提供します。
当社の専門家チームは最高の品質とサービスを提供することに尽力しています。当社はお客様の特定の要件を満たすカスタム設計を提供し、当社のバッチウェーハボートは品質保証プログラムによって裏付けられています。

バッチウェーハボートのパラメータ

技術的特性
索引	ユニット	価値
材質名		反応焼結炭化ケイ素	無加圧焼結炭化ケイ素	再結晶炭化ケイ素
構成		RBSiC	SSiC	R-SiC
かさ密度	g/cm3	3	3.15±0.03	2.60-2.70
曲げ強度	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80～90（20℃） 90～100(1400℃)
圧縮強度	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
硬度	ボタン	2700	2800	/
粘り強さを打ち破る	MPa・m1/2	4.5	4	/
熱伝導率	W/m.k	95	120	23
熱膨張係数	10^-6.1/℃	5	4	4.7
比熱	ジュール/g 0k	0.8	0.67	/
空気中の最高温度	℃	1200	1500	1600
弾性率	GPA	360	410	240