バッフルウエハーボート

Semicorex バッフル ウェーハ ボートは、CVD (化学気相成長) SiC コーティングと高品質グラファイトの組み合わせを使用して精密に作られており、半導体製造の厳しい環境に不可欠な堅牢性と熱安定性の両方を実現しています。

バッフル ウェーハ ボートは、ウェーハを保持するための安定した安全なプラットフォームを提供し、潜在的な損傷や汚染からウェーハを保護する、洗練された機能的なデザインを備えています。 CVD SiC コーティングはボートの耐久性を強化し、高温や腐食性化学物質に対する優れた耐性を備えているため、半導体業界では不可欠なツールとなっています。

バッフル ウェーハ ボートは細部まで細心の注意を払って設計されており、ウェーハとの接触を最小限に抑え、表面に傷や損傷を与えるリスクを軽減する戦略的に配置されたバッフルを備えています。この設計要素は、処理過程全体を通じて各ウェーハの本来の品質を維持することを目的としています。

バッフル ウェーハ ボートは信頼性が高く、非常に優れた性能を発揮し、現代の半導体製造の厳しい要求を満たします。バッチ処理と枚葉処理の両方での使用に適しており、製品の品質と歩留まりの向上を目指す半導体製造施設には不可欠な資産です。